「UV照射のバラつきによる硬化のクオリティの低さが気になりませんか？」

200mm／8インチ対応のUV硬化装置と300mm／12インチ対応のUV硬化装置がございます。ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が出来ます。

さらに、テクノビジョン独自の高効率、小流量N2置換機能が搭載されています。N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られます。これらの特長は、低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献します。

また、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少など、総合的な製造プロセスの効率化が図れます。