フォトマスクのパーティクル除去・レジスト除去用専用薬液
レジスト除去用薬液
※1 TRC-1811(有機アルカリ系)
※2 TRC-170(有機アルカリ系)
パーティクル除去用薬液
※1 TRC-123(無機アルカリ系界面活性剤)
※2 TRC-151(中性界面活性剤)
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洗浄装置
カセット洗浄装置
TCC-803
フォトマスク洗浄装置
TWE-200
TW-300
TW-700
TW-1000
TWC-302
全自動マスク洗浄装置
TWC-200A
TWC-304A
万能簡易洗浄装置 Easy Clean
薬液洗浄ユニット
純水スクラブ洗浄ユニット
温水引上げ乾燥ユニット
薬液
スーパークリーンヒーター
超純水用加熱ヒーター
QHシリーズ
クリーン加熱ヒーター
SHシリーズ
簡易タイプ温度コントローラー
TC-2030
紫外線オゾン洗浄装置
UV-208
UV-312
マウンター
マニュアルマウンター
FM-224シリーズ
PFM-9008
セミオートマウンター
FM-3343
FM-903S
FM-664シリーズ
エキスパンダー
TEX-21シリーズ
TEX-220
EX-300
グリップリング
カセット
グリップリングケース
UVフィルム硬化装置
LED仕様
UVC-200/300
UVC-200A/300A
UVC-708
高圧水銀ランプ仕様
UVC-408
UVC-512
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