FM-2248

【マニュアルマウンター／FM-2248】

手動式貼付け装置となります、各作業はオペレーターが行いますが、すべてガイドされていますので熟練されたオペレーターを必要としません。
また、お客様のニーズに合わせたカスタム対応も行います。

FM-2248-BG

【マニュアルマウンター／FM-2248-BG】

バックグラインド用／保護フィルム貼付け用マニュアルマウンター。
ウェハー／ワークの位置決めを行い特殊カッターにてウエハー／ワークの外周に添ってフィルムカットを行います。

FM-3343

【セミオートマウンター／FM-3343】

基本構成は、マニュアルマウンターと同じになりますが、貼付け工程を自動化したセミオートマウンター。
貼付け時の圧力・スピードを管理し貼付けのバラツキを抑えます。

FM-903S

貼付け・カットは自動対応。
オペレーターは、ウェハーとフレームをセットし取出すだけ。

FM-6648

【セミオートマウンター／FM-6648】

プリカットロールフィルム／ノーマルロールフィルムに対応した1台2役の兼用装置。
フィルム送り量に連動した貼付けを行いますのでフィルムテンションフリーとなります。

TEX-218G

【エキスパンダー／TEX-218G】

ダイシング後のストリート幅をフィルムを伸ばしX-Y方向に均一に拡張。
拡張後のフィルムクランプは、弊社推奨のグリップリングにてクランプ保持させます。
また、拡張幅はステージストローク量と加熱ヒーターにより可変します。

EX-300

【エキスパンダー／EX-300】

12インチに対応した拡張装置。
ステージ駆動は、モーターを採用し数値管理が出来るのとフィルムオートカット機能を搭載

UVC-200/300

【UVフィルム硬化装置／LED仕様／UVC-200/300】

出力LED光源を使用したUVフィルム硬化装置
照射方法は、光源をスキャンしての全面照射を行いテーブルトップサイズの装置です。

UVC-200A/300A

【UVフィルム硬化装置／LED仕様／UVC-200A/300A】

2段までカセットがセット可能な全自動UVフィルム硬化装置

UVC-408

【UVフィルム硬化装置／高圧水銀ランプ仕様／UVC-408】

UV硬化フィルムの粘着力を低下させる装置
高圧水銀ランプを搭載でのテーブルトップサイズ、また、照射方法はワークを回転させての全面照射となります。

TCC-803

【カセット洗浄装置／TCC-803】

少量多品種に対応したカセット／キャリアの洗浄装置。
専用ホルダーにカセット／キャリアを固定し高圧スプレー洗浄を行い、エアーと温室の併用で乾燥させます。
また、ホルダーを回転させる事により洗浄ムラ、早期乾燥させます。