グリップリング、またはダイシングフレームに嵌合/貼り付けられたウェハーを1枚収納可能。
ウェハーは非接触。
スタック可能なため、省スペースで保管可能。
導電材PPを使用。
試作品や少量の搬送、出荷、保管に最適。
モデル | グリップリング/ダイシングフレーム |
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GRC-04 | GR-4 |
GRC-05 | GR-5 |
GRC-06 | GR-6 |
GRC-08 | GR-8 |
GRFC-05 | GR-5/DTF2-6-1 |
GRFC-08 | GR-8/DTF2-8-1 |
*GR-12用は、用意されていません。