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紫外線オゾン洗浄装置 UV-312

  • 紫外線オゾン洗浄装置 UV-312

UV(紫外線)オゾン洗浄装置とは、特定波長の紫外線を照射しオゾン(O3)を生成、その生成したオゾンを利用し有機化合物を酸化・分解させることで、ワーク表面の有機物汚染の除去、表面改質を行うUVオゾン洗浄装置です。


紫外線(UV)オゾン洗浄装置 UV-208、UV-312は、UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用しています。


高密度グリッド形状のランプを採用していることで、ワーク全エリアを均一に照射することができます。

仕様


照射エリア 308mm x 308mm
電源 AC 100V 10A 50 or 60Hz(他電圧可)
装置寸法 505mm(W) x 616mm(D) x 320mm(H)
重量 41kg

特長


特長
1 高密度UVグリッドランプを使用。
2 ワーク面に対して照射が均一。
3 省スペース、コンパクト設計。
4 シンプルなユーティリティー。
5 両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。
6 容易な操作、セーフティー機能内蔵。
高密度UVグリッドランプ
[写真:高密度UVグリッドランプ]

効果


UV(紫外線)照射によるオゾン洗浄・表面改質により、表面の汚れ(疎水性のもの)が 除去・洗浄され濡れ性が(親水性へ)変化します(水滴が広がります)。


濡れ性の変化は、固体の表面で液体が接触している接触角θの変化(小さくなる)で 確認できます。濡れ性の変化は、密着性の向上にもつながります。

■水滴の広がりによる濡れ性、接触角の変化

照射前→照射後

■ぬれ性変化

ぬれ性変化

■接触角の変化

接触角の変化
処理条件
照射時間 5分/照射距離:10mm
照射装置 UV-208/照射サンプル:Siウェーハー

用途


UV(紫外線)オゾン洗浄装置は、下記の各種用途に手軽に利用することができます。

用途
1 半導体ウェハー、フォトマスク、ガラス基板、光学部品の洗浄。
2 樹脂部品の表面改質。
3 接着、塗装、印刷、蒸着、はんだ等の密着性の向上。
4 ワーク表面のヌレ性改善。

UVオゾン洗浄原理


オゾン生成 大気中の酸素(O2)は波長184.9nmの紫外線を吸収して、オゾン(O3)を生成
オゾン分解 生成されたオゾン(O3)はさらに波長253.7nmの紫外線を吸収して、O2と活性酸素(O*)を発生
有機物分解(洗浄、表面改質) 非常に不安定な活性酸素(O*)が有機化合物と結びついてH2O、CO2、NOxなどの気体に酸化分解(有機化合物と結びつくことで、洗浄・表面改質されます)
UVオゾン洗浄原理
UVオゾン洗浄
UVオゾン洗浄 イメージ

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