セミオートマウンター：FM-664シリーズ

セミオートマウンター　FM-664シリーズ

FM-6648
FM-6643
※カスタム仕様

プリカットテープとノーマルテープ両方に対応できる装置として開発されました。もちろん、プリカットテープ専用装置、ノーマルテープ専用装置として使用できるだけでなく、下記の用途に対応できる多様な装置です。

仕様

モデル	ウェハーサイズ	装置寸法（mm）
FM-6648	8インチまで	1,220mm（W） x 660mm（D） x 1,620mm（H）
FM-6643	12インチまで	1,710mm（W） x 975mm（D） x 1,570mm（H）

特長

	機能
1	貼付け圧力、スピードなど照条件設定可。
2	ノーマルテープの貼付けピッチ可変。
3	テンションフリー貼付け。
4	バブルフリー貼付け。
5	静電気除去ユニット装備。
6	オプション：ヒーターユニット。
7	小型、軽量、小フットプリント。

各種オプション

ヒーターユニット

テープ貼り付け手順

■マニュアル・タイプの貼り付け手順例

	貼り付け手順
1	ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2	固定（吸着スイッチON）
3	ウェハーをセット
4	固定（吸着スイッチON）
5	スタートボタンを押す（自動運転）

用途

下記を中心に広範な用途に対応しています。

【ダイシング用途】

ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。

【保護（バックグラインド／BG）用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。

【その他】

フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。（DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等）

メリット

ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。また、1台2役の装置となります。

■装置バリエーション

FM-224シリーズ
（マニュアル装置）