洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン
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洗浄装置・ダイシング周辺装置

半導体製造プロセスの

アシストを致します。

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製品一覧

洗浄装置

洗浄装置


　ウェット洗浄装置のラインナップ。
　収納カセットの洗浄装置とフォト
　マスク等の洗浄装置です。
スーパークリーンヒーター

スーパー
クリーンヒーター


　流体接触部にクリーン部材を使用し
　汚染させること無く瞬間加熱を行う
　ことが可能です。
紫外線オゾン洗浄装置

紫外線オゾン
洗浄装置


　ワーク表面の有機物除去及び表面改
　質を行い、最終洗浄として威力を発
　揮する装置です。
マウンター

マウンター


　ウェハー、ダイシングフレーム、各
　種フィルム/テープを気泡なしで瞬
　時に貼り付ける装置です。
エキスパンダー

エキスパンダー


　ダイシング／分割されたウェハーを
　X-Y方向に均一にフィルム/テープを
　拡張し、チップ間隔を任意に広げ、
　チップハンドリングを著しく向上さ
　せる拡張装置です。
グリップリング

グリップリング


　グリップリングとは、インナーリン
　グ、アウターリングのダブルリング
　構造、強化プラスチック製のリング
　です。
UVフィルム硬化装置

UVフィルム
硬化装置


　ウェハー加工（ダイシングやバック
　グラインド）工程において使用され
　るUV/紫外線硬化タイプのフィルム/
　テープの粘着力を低下させるUV照射
　装置です。
その他

足踏み式
消毒液スタンド


　市販のポンプ式ボトルを
　手で触れることなく足踏みで
　ワンプッシュが可能。

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