洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン

洗浄装置・ダイシング周辺装置

半導体製造プロセスの

アシストを致します。

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製品一覧

洗浄装置

洗浄装置


 ウェット洗浄装置のラインナップ。
 収納カセットの洗浄装置とフォト
 マスク等の洗浄装置です。

スーパークリーンヒーター

スーパー
クリーンヒーター


 流体接触部にクリーン部材を使用し
 汚染させること無く瞬間加熱を行う
 ことが可能です。

紫外線オゾン洗浄装置

紫外線オゾン
洗浄装置


 ワーク表面の有機物除去及び表面改
 質を行い、最終洗浄として威力を発
 揮する装置です。

マウンター

マウンター


 ウェハー、ダイシングフレーム、各
 種フィルム/テープを気泡なしで瞬
 時に貼り付ける装置です。

エキスパンダー

エキスパンダー


 ダイシング/分割されたウェハーを
 X-Y方向に均一にフィルム/テープを
 拡張し、チップ間隔を任意に広げ、
 チップハンドリングを著しく向上さ
 せる拡張装置です。

グリップリング

グリップリング


 グリップリングとは、インナーリン
 グ、アウターリングのダブルリング
 構造、強化プラスチック製のリング
 です。

UVフィルム硬化装置

UVフィルム
硬化装置


 ウェハー加工(ダイシングやバック
 グラインド)工程において使用され
 るUV/紫外線硬化タイプのフィルム/
 テープの粘着力を低下させるUV照射
 装置です。

お問い合わせ

お問い合わせ


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