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製品一覧
洗浄装置
ウェット洗浄装置のラインナップ。
収納カセットの洗浄装置とフォト
マスク等の洗浄装置です。
スーパー
クリーンヒーター
流体接触部にクリーン部材を使用し
汚染させること無く瞬間加熱を行う
ことが可能です。
紫外線オゾン
洗浄装置
ワーク表面の有機物除去及び表面改
質を行い、最終洗浄として威力を発
揮する装置です。
マウンター
ウェハー、ダイシングフレーム、各
種フィルム/テープを気泡なしで瞬
時に貼り付ける装置です。
エキスパンダー
ダイシング／分割されたウェハーを
X-Y方向に均一にフィルム/テープを
拡張し、チップ間隔を任意に広げ、
チップハンドリングを著しく向上さ
せる拡張装置です。
グリップリング
グリップリングとは、インナーリン
グ、アウターリングのダブルリング
構造、強化プラスチック製のリング
です。
UVフィルム
硬化装置
ウェハー加工（ダイシングやバック
グラインド）工程において使用され
るUV/紫外線硬化タイプのフィルム/
テープの粘着力を低下させるUV照射
装置です。
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TOPICS
2024.11.14
SEMICON Japan 2024 出展のご案内
2024.3.1
UVフィルム硬化装置／デモテスト受付開始のお知らせ
2024.2.1
スプリングチャック式／マニュアルマウンター デモ機貸出開始
2024.1.5
『SEMICON JAPAN 2023』レビュー
2023.9.1
UVフィルム硬化装置 新UVC-512開発中
2023.8.1
「スプリングチャック式／マニュアルマウンター」
2023.5.8
UVCカタログをリニューアルしました。
2023.4.3
【社長コラム】“コロナ禍収束からのさらなる飛躍”
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