紫外線オゾン洗浄装置：UV-208

UV（紫外線）オゾン洗浄装置とは、特定波長の紫外線を照射しオゾン（O3）を生成、その生成したオゾンを利用し有機化合物を酸化・分解させることで、ワーク表面の有機物汚染の除去、表面改質を行うUVオゾン洗浄装置です。

紫外線（UV）オゾン洗浄装置 UV-208、UV-312は、UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用しています。

高密度グリッド形状のランプを採用していることで、ワーク全エリアを均一に照射することができます。

［写真：高密度UVグリッドランプ］

UV（紫外線）照射によるオゾン洗浄・表面改質により、表面の汚れ（疎水性のもの）が除去・洗浄され濡れ性が（親水性へ）変化します（水滴が広がります）。

濡れ性の変化は、固体の表面で液体が接触している接触角θの変化（小さくなる）で確認できます。濡れ性の変化は、密着性の向上にもつながります。

■水滴の広がりによる濡れ性、接触角の変化

■ぬれ性変化

■接触角の変化

処理条件
照射時間	5分／照射距離：10mm
照射装置	UV-208／照射サンプル：Siウェーハー

UV（紫外線）オゾン洗浄装置は、下記の各種用途に手軽に利用することができます。

	用途
1	半導体ウェハー、フォトマスク、ガラス基板、光学部品の洗浄。
2	樹脂部品の表面改質。
3	接着、塗装、印刷、蒸着、はんだ等の密着性の向上。
4	ワーク表面のヌレ性改善。

オゾン生成	大気中の酸素（O2）は波長184.9nmの紫外線を吸収して、オゾン（O3）を生成
オゾン分解	生成されたオゾン（O3）はさらに波長253.7nmの紫外線を吸収して、O2と活性酸素（O*）を発生
有機物分解（洗浄、表面改質）	非常に不安定な活性酸素(O*）が有機化合物と結びついてH2O、CO2、NOxなどの気体に酸化分解（有機化合物と結びつくことで、洗浄・表面改質されます）