洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン

UVフィルム硬化装置/LED仕様 UVC-200A/300A

  • UVフィルム硬化装置/LED仕様 UVC-200A/300A

UVフィルム硬化装置は、半導体製造のウェハー加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用されるUV/紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後、波長 365nmの紫外線(UV)を照射する装置です。


UVを照射することにより接着用のノリが硬化し、強い接着力を有していたフィルムからチップやウェハーを簡単に剥離することが出来るようになります。


テクノビジョンでは、光源に異なる2タイプ(1:LED光源、2:高圧水銀ランプ)のUV硬化装置を提供しており、要件に応じた選択が可能となっています。


概要


「高温照射によるワークへのダメージが気になりませんか?」

UV照射の光源にLED(Light Emitting Diode)を採用したLED UVフィルム硬化装置です。従来装置(高圧水銀灯やメタルハライド光源)と比較しても十分な硬化性能(硬化状態、硬化スピード)を発揮します。


テクノビジョンが独自に開発した高出力LEDドライバーを採用し、250mW/cm2(10mm work distance)の照射出力を達成。光源部は、往復スキャンしながらワークを均一に照射します。


LEDの特長である常温照射によるワークへの熱ダメージ低減、低消費電力、長寿命性、光源の交換時に安全等、数多くのメリットが受けられます。


CtoC(Cassette to Cassette)のフルオート装置となります。

仕様


モデル ワークサイズ 装置寸法
UVC-200A 200mm/8”対応 1,600mm(W) × 800mm(D) × 1,100mm(H)
UVC-300A 300mm/12”対応 1,600mm(W) × 800mm(D) × 1,100mm(H)

特長


特長
1 常温照射によるワークへのダメージ低減。
2 LEDの長寿性。
3 瞬時の立ち上がりによる作業効率の向上。

特長

機能


特長
1 カセットtoカセット(ロード/アンロードは同一カセット)
2 高出力照射。
3 高出力ドライバ採用。
4 照度バラツキを解消。
5 波長365nmを採用、全てのUVテープ対応。
6 少流量オートN2パージ機能内蔵。

製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。

株式会社テクノビジョン
〒350-0165 
埼玉県比企郡川島町中山2078
TEL:049-299-1385 
FAX:049-299-1386
電話番号:049-299-1385
24時間365日受付

製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

万能簡易洗浄装置 Easy Clean

  薬液洗浄ユニット

  純水スクラブ洗浄ユニット

  温水引上げ乾燥ユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

  PFM-9008

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

  UVC-708

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

動画集
無償貸出のご案内
用語集
         
採用情報