TV-200TH は、TAIKO®ウェーハ対応のメンブレン貼付方式と加熱機能を組み合わせた真空マウンターです。
真空環境下でのラジアル貼付により、TAIKO®ウェーハ特有の外周段差や薄肉部に対する応力集中を抑制し、さらに加熱チャックによって粘着テープの特性を安定化させることで、高い貼付均一性と再現性を両立します。
薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルです。
TAIKO®対応メンブレン貼付方式
柔軟なメンブレンを介して圧力を伝え、段差や曲面を有するウェーハにも均一に追従。
ラジアル貼付による低応力化
中心から外周へ貼付を進めることで、外周部への応力集中や気泡混入を抑制。
加熱チャック搭載
貼付ステージを加熱することで、粘着テープの流動性を制御し、貼付品質を安定化。
真空・温度・時間の統合管理
主要プロセス条件を数値で管理し、高い工程再現性を実現。
| モデル | TV-200TH |
|---|---|
| フレームサイズ | DTF2-8-1 |
| 対応ウェーハサイズ | ～φ200mm |
| 最高温度 | ～100°C |
| 装置寸法 | 360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) |
| 重量 | 29kg |
| 必要到達真空（絶対圧） | 0.2 kPa |
| 真空配管 | φ10mm クイック継手 |
| 推奨排気速度 | 約320 L/min（19 m³/h） |
| 必要エア圧 | 0.4～0.6 MPa |
| エア配管 | φ4mmクイック継手 |
| 入力電源 | ＜装置本体＞ AC100V 50/60Hz X 1, ＜温調器＞ AC110V 50/60Hz X 1 |
注意事項
・テープをフレームに貼り付ける工程は、本装置とは別工程となります。
・記載仕様は改良のため予告なく変更される場合があります。
※TAIKO®は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
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