TV-200H/TV-300H は、真空貼付方式に加熱機能を組み合わせた加熱真空マウンターです。貼付ステージを加熱することで、粘着テープの特性を安定させ、真空貼付との相乗効果により、より均一で再現性の高いマウンティング品質を実現します。
温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に最適なモデルです。
加熱チャック搭載
貼付ステージを加熱することで、粘着剤の流動性を制御し、貼付品質を安定化。
真空＋温度のプロセス管理
真空圧・温度・時間を数値管理し、再現性の高い工程を実現。
貼付ムラ・気泡の抑制
真空環境下での加熱貼付により、気泡混入や貼付ムラを低減。
幅広いテープに対応
加熱を必要とする各種ダイシングテープ、保護テープに対応。
| モデル | TV-200H | TV-300H |
|---|---|---|
| フレームサイズ | DTF2-8-1 | DTF2-12 |
| 対応ウェーハサイズ | ～φ200mm | ～φ300mm |
| 最高温度 | ～100°C | ～100°C |
| 装置寸法 | 385mm(W)×600mm(D)×815mm(H) | 470mm(W)×750mm(D)×893mm |
| 重量 | 40.4kg | 43kg |
| 必要到達真空（絶対圧） | 0.2 kPa | 0.2 kPa |
| 真空配管 | φ10mm クイック継手 | φ10mm クイック継手 |
| 推奨排気速度 | 約320 L/min（19 m³/h） | 約320 L/min（19 m³/h） |
| 必要エア圧 | 0.4～0.6 MPa | 0.4～0.6 MPa |
| エア配管 | φ4mmクイック継手 | φ4mmクイック継手 |
| 入力電源 | ＜装置本体＞ AC100V 50/60Hz X 1, ＜温調器＞ AC110V 50/60Hz X 2 |
＜装置本体＞ AC100V 50/60Hz X 1, ＜温調器＞ AC110V 50/60Hz X 2 |
注意事項
・テープをフレームに貼り付ける工程は、本装置とは別工程となります。
・記載仕様は改良のため予告なく変更される場合があります。
製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。
