TV-150/TV-200/TV-300 は、真空環境下でウェーハをダイシングテープに貼り付ける標準タイプの真空マウンターです。貼付工程を真空チャンバー内で行うことで、大気中貼付で問題となりやすい気泡の残留を抑制し、ウェーハ全面にわたって均一で再現性の高い貼付品質を実現します。
コンパクトで幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルです。
真空貼付方式
真空中で貼付を行うことで、気泡混入を抑制し、安定した貼付を実現。
高い再現性
真空圧・プロセスタイムを数値管理することで、作業者によるばらつきを低減。
ウェーハへの低負荷設計
過度な機械的加圧を必要とせず、薄ウェーハや脆性基板にも対応。
幅広い材料に対応
シリコン、ガラス、セラミックスなど各種基板に対応。
直感的な操作性
タッチパネルによる簡単操作。条件設定はパスワード管理が可能。
| モデル | TV-150 | TV-200 | TV-300 |
|---|---|---|---|
| フレームサイズ | DTF2-6-1 | DTF2-8-1 | DTF2-12 |
| 対応ウェーハ サイズ |
～φ150mm | ～φ200mm | ～φ300mm |
| 最高温度 | — | — | — |
| 装置寸法 | 360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) | 360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) | 470mm(W)×750mm(D)×893mm(H) |
| 重量 | 29kg | 29kg | 40kg |
| 必要到達真空 （絶対圧） |
0.2 kPa | 0.2 kPa | 0.2 kPa |
| 真空配管 | φ10mm クイック継手 | φ10mm クイック継手 | φ10mm クイック継手 |
| 推奨排気速度 | 約320 L/min（19 m³/h） | 約320 L/min（19 m³/h） | 約320 L/min（19 m³/h） |
| 必要エア圧 | 0.4～0.6 MPa | 0.4～0.6 MPa | 0.4～0.6 MPa |
| エア配管 | φ4mmクイック継手 | φ4mmクイック継手 | φ4mmクイック継手 |
| 入力電源 | AC100V 50/60Hz | AC100V 50/60Hz | AC100V 50/60Hz |
注意事項
・テープをフレームに貼り付ける工程は、本装置とは別工程となります。
・記載仕様は改良のため予告なく変更される場合があります。
製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。
