最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター。
オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。
| モデル | ウェハーサイズ | 装置寸法（mm） |
|---|---|---|
| FM-903S | 8インチまで | 1,000mm（W） x 600mm（D） x 800mm（H） |
| 機能 | |
|---|---|
| 1 | 自動貼付け、オートフィルムカット機構。 |
| 2 | 貼付け圧力/可変。 |
| 3 | 貼付けスピード可変。 |
| 4 | 貼付けローラー自動平衡機能。 |
| 5 | オプション：ヒーターユニット、静電気対策。 |
| 6 | テーブルトップタイプ |
■マニュアル・タイプの貼り付け手順例
| 貼り付け手順 | |
|---|---|
| 1 | ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット |
| 2 | 固定（吸着スイッチON） |
| 3 | ウェハーをセット |
| 4 | 固定（吸着スイッチON） |
| 5 | スタートボタンを押す（自動運転） |
下記を中心に広範な用途に対応しています。
【ダイシング用途】
ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます
【保護（バックグラインド／BG）用途】
ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。
【その他】
フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。（DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等）
ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。
■装置バリエーション
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