TV-200T は、TAIKO®ウェーハや薄ウェーハなど、外周部に段差や特殊形状を有するウェーハに対応した真空マウンターです。上部メンブレンを用いた貼付方式を採用することで、ウェーハ中心部から外周方向へ均一にテープを貼り付ける「ラジアル貼付」を実現します。これにより、TAIKO®ウェーハ特有の外周部への応力集中や貼付ムラを抑制し、安定したマウンティング品質を提供します。
メンブレン貼付方式
柔軟性のあるメンブレンを介して圧力を伝えることで、段差や曲面を有するウェーハにも均一に追従。
ラジアル貼付
中心から外周へ貼付を進めることで、気泡混入や局所的な応力を低減。
ウェーハへの低ダメージ設計
外周部への機械的ストレスを抑え、薄ウェーハやTAIKO®ウェーハの割れ・欠けリスクを低減。
真空貼付による高い再現性
真空圧とプロセスタイムを数値管理し、安定した工程再現性を確保。
| モデル | TV-200T |
|---|---|
| フレームサイズ | DTF2-8-1 |
| 対応ウェーハサイズ | ～φ200mm |
| 最高温度 | — |
| 装置寸法 | 360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) |
| 重量 | 29kg |
| 必要到達真空（絶対圧） | 0.2 kPa |
| 真空配管 | φ10mm クイック継手 |
| 推奨排気速度 | 約320 L/min（19 m³/h） |
| 必要エア圧 | 0.4～0.6 MPa |
| エア配管 | φ4mmクイック継手 |
| 入力電源 | AC100V 50/60Hz |
注意事項
・テープをフレームに貼り付ける工程は、本装置とは別工程となります。
・記載仕様は改良のため予告なく変更される場合があります。
※TAIKO®は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
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