Development and sales of semiconductor manufacturing systems in Japan

UV照射装置/LED灯源规格 UVC-200/300

  • UVC-200/300
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这种UV固化系统便于UV曝光后剥离UV胶带。胶带是用于研削中的表面保护和晶片处理工序中胶带的切割的UV胶带。


UV-LED固化系统使用波长为365纳米的LED(发光二极管)光源进行UV曝光。LED提供了许多性能优势。


得益于Technovision研发的高功率LED驱动器和水冷系统,它能够提供250mW/cm2(在10mm工作距离下)的可靠曝光输出。

规格


型号 工作尺寸 设备尺寸
UVC-200 200mm/8“兼容 750mm(W) × 640mm(D) × 575mm(H)
UVC-300 300mm/12“兼容 750mm(W) × 640mm(D) × 575mm(H)

特点


1 减少常温照射对工件的损伤。
2 LED的长寿性。
3 通过瞬间启动提高工作效率。
4 低功耗。
5 可以安全地更换光源。
6 内置小流量自动N2吹扫功能。
7 桌面型。

Features

产品信息

清洗装置

超级清洗加热器 - 国内专用-

超纯水用QH系列
- 国内专用-

  QH系列

洁净干气用SH系列
- 国内专用-

  SH系列

简易型温度控制器
- 国内专用-

  TC-2030

紫外线臭氧(UV臭氧)清洗装置

晶圆贴片机/贴膜机

手动型贴片机

  FM-224系列

半自动型贴片机

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664系列

晶片扩张装置

扩晶环

UV照射装置

LED灯源规格

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A
- 国内专用-

  UVC-708

高压汞灯规格

  UVC-408

  UVC-512