Development and sales of semiconductor manufacturing systems in Japan

洁净干气用SH系列SH系列

  • 洁净干气用SH系列SH系列

– 国内专用-


超级清洗加热器是一种不污染流体,进行瞬间加热的加热器。


它可以在不污染流体的情况下进行瞬时加热,并且非常适合于在线安装,例如安装在设备中或安装在现有线路中。


QH系列:超纯水用QH系列

SH系列:惰性气体/清洁空气加热器

特点


惰性气体/清洁空气加热器采用不锈钢(SUS 316-EP处理)作为加热部分。

它是干燥设备,气刀,排水设备等中使用的清洁干燥空气(CDA),以及惰性气体的清洁加热的理想选择。

特点
1 加热器容量有500~2400W的6种。
2 加热部分、流体通道全不锈钢电解抛光处理。
3 高效,安全,小型设计。
型号 规格 尺寸 接头
x长度 INLET/OUTLET
SH-500 500瓦单相200伏 100mm × 300mm Rc3/8
SH-800 800瓦单相200伏 100mm × 300mm Rc3/8
SH-1000 1000W单相/三相200V 100mm × 400mm Rc1/2
SH-1500 1500瓦单相/三相200V 100mm × 400mm Rc1/2
SH-1800 1800W单相/三相200V 100mm × 500mm Rc3/4
SH-2400 2400W单相/三相200V 100mm × 500mm Rc3/4

产品信息

清洗装置

超级清洗加热器 - 国内专用-

超纯水用QH系列
- 国内专用-

  QH系列

洁净干气用SH系列
- 国内专用-

  SH系列

简易型温度控制器
- 国内专用-

  TC-2030

紫外线臭氧(UV臭氧)清洗装置

晶圆贴片机/贴膜机

手动型贴片机

  FM-224系列

半自动型贴片机

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664系列

晶片扩张装置

扩晶环

UV照射装置

LED灯源规格

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A
- 国内专用-

  UVC-708

高压汞灯规格

  UVC-408

  UVC-512