Development and sales of semiconductor manufacturing systems in Japan

晶片扩张装置TEX-21系列

  • 晶片扩张装置TEX-21系列

    TEX-21BG

  • 晶片扩张装置TEX-21系列

    TEX-218G

晶片扩展器是指将切割/分割后的晶片在X-Y方向上均匀扩展,将芯片间隔扩展到任意的间隙,使切割/分割后的芯片处理显著提高的磁带扩展装置。


晶片切割后的街道宽度非常窄,芯片之间的干涉会导致碎裂和碎裂,因此处理晶片时需要非常小心。


EX系列”晶片扩展器”是一种带扩展装置,通过扩展台将全切割后的晶片与切割带一起拉伸,可以将芯片间隔/间隔道宽度均匀地扩展到适当的宽度。


在科技視野中,准备了各种晶片扩展器,可以分别根据基本型号、12英寸对应的电动机驱动型晶片扩张装置、带自动切割功能的晶片扩张装置等要求进行选择。
扩张后,通过扩晶环(内环和外环的自动夹入)保持磁带的扩张状态。

规格


型号 晶片尺寸 设备尺寸(mm)
TEX-21BG 支持6英寸(150mm) 340mm(W) x 600mm(D) x 350mm(H)
TEX-218G 支持8英寸(200mm) 400mm(W) x 690mm(D) x 350mm(H)

特点


1 可配置任意扩展速率。
2 扩展速度可选。
3 提供一种能够实现高扩展率的热板安装台。
4 用扩晶环自动抓握膨胀的薄膜。
Before→After

工作程序



[动画:晶片扩张装置(型号TEX-218G)]

产品信息

清洗装置

超级清洗加热器 - 国内专用-

超纯水用QH系列
- 国内专用-

  QH系列

洁净干气用SH系列
- 国内专用-

  SH系列

简易型温度控制器
- 国内专用-

  TC-2030

紫外线臭氧(UV臭氧)清洗装置

晶圆贴片机/贴膜机

手动型贴片机

  FM-224系列

半自动型贴片机

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664系列

晶片扩张装置

扩晶环

UV照射装置

LED灯源规格

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A
- 国内专用-

  UVC-708

高压汞灯规格

  UVC-408

  UVC-512