光掩模的微粒去除·抗蚀剂去除用专用药液技术领域
抗蚀剂除去用药液技术领域
TRC-1811（有机碱性）
TRC-170（有机碱性）
颗粒去除用药液技术领域
TRC-123（无机碱性表面活性剂）
TRC-151（中性表面活性剂）
清洗装置
盒式清洗装置
TCC-803 - 国内专用-
光掩膜清洗装置
TWE-200
TW-300
TW-700
TW-1000 - 国内专用-
TWC-302 - 国内专用-
全自动光掩膜清洗装置 - 国内专用-
TWC-200A - 国内专用-
TWC-304A - 国内专用-
単元式简易清洗装置 Easy Clean - 国内专用-
型号EC-chemicalCLINs清洗单元 - 国内专用-
型号EC-scrub纯水擦洗清洗装置 - 国内专用-
型号EC-dry热水提拉干燥装置 - 国内专用-
药液
超级清洗加热器 - 国内专用-
超纯水用QH系列 - 国内专用-
QH系列
洁净干气用SH系列 - 国内专用-
SH系列
简易型温度控制器 - 国内专用-
TC-2030
紫外线臭氧(UV臭氧)清洗装置
UV-208
UV-312
晶圆贴片机/贴膜机
手动型贴片机
FM-224系列
半自动型贴片机
FM-3343
FM-903S
FM-664系列
晶片扩张装置
TEX-21系列
TEX-220
EX-300 - 国内专用-
扩晶环
扩晶环框架盒
扩晶环单片盒
UV照射装置
LED灯源规格
UVC-200/300
UVC-200A/300A - 国内专用-
UVC-708
高压汞灯规格
UVC-408
UVC-512
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