テクノビジョンの紙匠技 / kami waza シリーズ第二弾発表
8インチダイシングフレーム試作品ができました。
仕様:8インチ対応(内径~φ250 外径~φ296)
厚さ:2.5mm
特長:紙素材でできていますので次の利点があります。
*プラスチック削減により地球環境に優しくSDGsに貢献します。
*焼却ができます(一般の燃えるゴミと同様です)。
*SUS製フレームと比べて1/3以下と軽量のため、輸送コストの大幅な削減が可能です。
例) 10,000枚のウェーハの処理で10,000枚のフレームを使用の場合、、、
SUS製フレームの重さ:~154g/枚×10,000枚→ 1,540kg
Kami wazaフレームの重さ:~46g/枚×10,000枚→ 460kg