洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン

UVフィルム硬化装置/高圧水銀ランプ仕様 UVC-408

  • UVフィルム硬化装置/高圧水銀ランプ仕様 UVC-408
  • UVフィルム硬化装置/高圧水銀ランプ仕様 UVC-408

UVフィルム硬化装置は、半導体製造のウェハー加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用されるUV/紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後、波長 365nmの紫外線(UV)を照射する装置です。


UVを照射することにより接着用のノリが硬化し、強い接着力を有していたフィルムからチップやウェハーを簡単に剥離することが出来るようになります。


テクノビジョンでは、光源に異なる2タイプ(1:LED光源、2:高圧水銀ランプ)のUV硬化装置を提供しており、要件に応じた選択が可能となっています。


概要


「UV照射のバラつきによる硬化のクオリティの低さが気になりませんか?」

200mm/8インチ対応のUV硬化装置と300mm/12インチ対応のUV硬化装置がございます。ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が出来ます。


さらに、テクノビジョン独自の高効率、小流量N2置換機能が搭載されています。 N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られます。これらの特長は、低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献します。


また、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの減少など、総合的な製造プロセスの効率化が図れます。

仕様


モデル ワークサイズ 装置寸法
UVC-408 200mm/8”対応 400(W)×665(D)×435(H)

製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。

株式会社テクノビジョン
〒350-0165 
埼玉県比企郡川島町中山2078
TEL:049-299-1385 
FAX:049-299-1386
電話番号:049-299-1385
24時間365日受付

製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

簡易洗浄ユニット

  ケミカルユニット

  スクラブユニット

  ドライユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

動画集
無償貸出のご案内
用語集
テクノビジョンについて
『株式会社テクノビジョン』は、半導体等のハイテクノロジー産業で、製造プロセスの歩留り向上、品質向上、および自動化/省力化に貢献している日本の半導体製造装置メーカーです。