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エキスパンダー TEX-21シリーズ

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    TEX-21BG

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    TEX-218G

ウェハーエキスパンダーとは、ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置です。


ウェハーダイシング後のストリート幅は非常に狭く、チップどうしが干渉してカケ、チッピング発生の原因となるため、ウェハーの取り扱いには細心の注意が要求されます。


EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。


テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能となっています。


拡張後は、グリップリング(インナーリングとアウターリングの自動挟み込み)によりテープの拡張状態を保持します。

仕様


モデル ウェハーサイズ 装置寸法(mm)
TEX-21BG 6インチ(150mm)対応 340mm(W)x600(D)x350(H)
TEX-218G 8インチ(200mm)対応 400mm(W)x690(D)x350(H)

特長


1 拡張率を任意に設定可能。
2 拡張スピードを任意に設定可能。
3 高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
4 グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
拡張前→拡張後

作業手順


ウェハーの拡張作業の手順を、画像、動画それぞれにより説明しています。


[動画:エキスパンダー(モデルTEX-218G)]

■カスタマイズ

安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様...等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。

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