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セミオートマウンター FM-903S

  • セミオートマウンター FM-903S

最大8インチまでのセミオート式テーブルトップタイプ・ウェハーマウンター。


オペレーターはワークのセットと取出しのみで、後の作業は全て自動運転いたします。テープ/フィルムの貼付け作業の安定と歩留り向上に貢献いたします。


作業フロー(自動運転)

仕様


モデル ウェハーサイズ 装置寸法(mm)
FM-903S 8インチまで 1,000mm(W)x600(D)x800(H)

特長


機能
1 自動貼付け、オートフィルムカット機構。
2 貼付け圧力/可変。
3 貼付けスピード可変。
4 貼付けローラー自動平衡機能。
5 オプション:ヒーターユニット、静電気対策。
6 テーブルトップタイプ

各種オプション


静電気除去ユニット
静電気除去ユニット
ヒーターユニット
ヒーターユニット

テープ貼り付け手順


■マニュアル・タイプの貼り付け手順例

  貼り付け手順
1 ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2 固定(吸着スイッチON)
3 ウェハーをセット
4 固定(吸着スイッチON)
5 スタートボタンを押す(自動運転)

用途


下記を中心に広範な用途に対応しています。


【ダイシング用途】

ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます


【保護(バックグラインド/BG)用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。


【その他】

フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。 (DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等)

メリット


ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。作業者は、ウエハーとフレームをセットしスタートを押すだけです。 

■装置バリエーション

FM-224シリーズ
(マニュアル装置)

FM-224シリーズ
シンプル機構の
マニュアルタイプ

FM-3343
(セミオート装置)

FM-3343
小型テーブル
トップタイプ

FM-664シリーズ
(セミオート装置)

FM-664シリーズ
プリカットテープ・
ノーマルテープ兼用タイプ

FM-903S
(セミオート装置)

FM-903S
ノーマルテープ専用
8インチタイプ

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製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

簡易洗浄ユニット

  ケミカルユニット

  スクラブユニット

  ドライユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

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テクノビジョンについて
『株式会社テクノビジョン』は、半導体等のハイテクノロジー産業で、製造プロセスの歩留り向上、品質向上、および自動化/省力化に貢献している日本の半導体製造装置メーカーです。