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セミオートマウンター FM-3343

  • セミオートマウンター FM-3343

12インチ(300mm)対応のセミオート式テーブルトップタイプの小型テープ貼付機。テープ貼付け/ラミネーションの条件多様化に対応できる最適なテープ貼付機です。


マニュアル装置に「肝心の貼付け作業だけでも自動化」し、さらに「貼り付け条件の設定と貼り付け品質の定量的な管理をしたい!」と希望されるお客様にお応えする装置です。経験の浅いオペレータでも、熟練者のような安定した品質での貼り付け作業が行えます。

仕様


モデル ウェハーサイズ 装置寸法(mm)
FM-3343 12インチまで 525mm(W)x940(D)x415(H)

特長


機能
1 プリセットされた貼付け条件でオートラミネーション。
2 静電気除去ユニット装備。
3 貼付け圧力可変。
4 貼付けローラーのスピード可変。
5 円周テープカッター内蔵。
6 水平テープカッター内蔵。
7 セパレーター自動巻取り機構内蔵。
8 オプション:ヒーターユニット。
9 小型軽量、テーブルトップ。

各種オプション


ヒーターユニット
ヒーターユニット

テープ貼り付け手順


■マニュアル・タイプの貼り付け手順例

  貼り付け手順
1 ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2 固定(吸着スイッチON)
3 ウェハーをセット
4 固定(吸着スイッチON)
5 装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定
6 スタートボタンを押す(自動貼付け動作)
7 カッターユニットのカバーを閉じ、円形カット用カッターで周りをカット
8 装置奥にある水平カッターでロールから切り離す
9 カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く
10 フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着OFF)
11 貼り付け完了

用途


下記を中心に広範な用途に対応しています。


【ダイシング用途】

ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。


【保護(バックグラインド/BG)用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。


【その他】

フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。(DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等)

メリット


ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。フィルム貼付け時の圧力と貼付けスピードがデジタル表示で管理できます。

■装置バリエーション

FM-224シリーズ
(マニュアル装置)

FM-224シリーズ
シンプル機構の
マニュアルタイプ

FM-3343
(セミオート装置)

FM-3343
小型テーブル
トップタイプ

FM-664シリーズ
(セミオート装置)

FM-664シリーズ
プリカットテープ・
ノーマルテープ兼用タイプ

FM-903S
(セミオート装置)

FM-903S
ノーマルテープ専用
8インチタイプ

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製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

簡易洗浄ユニット

  ケミカルユニット

  スクラブユニット

  ドライユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

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