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マニュアルマウンター FM-224シリーズ

  • マニュアルマウンター FM-224シリーズ
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研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が出来ます。マニュアルタイプのウェハーマウンターはワークサイズ別に300mm(12インチ)、200mm(8インチ)、150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。(無料貸出用デモ機もご用意)


また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。


貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。


特殊な装置としては、1台の装置にテープ/フィルムを2本セットできるツインタイプ装置があります。一般のり付きテープとUVテープ(紫外線硬化)を同時にセットする等、テープの載せ換え作業の手間がかかりません。

概要


ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。
ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。
テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。


[動画 : マニュアルマウンター]

仕様


モデル ウェハーサイズ 装置サイズ:(WxDxH)(mm)
FM-2243 12インチまで 510(W) x 860(D) x 330(H)
FM-2248 8インチまで 455(W) x 780(D) x 300(H)
FM-2246 6インチまで 375(W) x 760(D) x 230(H)

モデル ウェハーサイズ バックグラインド/BG用途
FM-2243-BG 12インチまで 300mm/12 対応装置
FM-2248-BG 8インチまで 200mm/8 対応装置
FM-2246-BG 6インチまで 150mm/6 対応装置

特長


機能
1 瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
2 貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
3 円周カッター内蔵。
4 水平カッター内蔵。
5 セパレーター巻き取り機構内蔵。
6 オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策

各種オプション



静電気除去ユニット

ダンパー

ヒーターユニット

テープ貼り付け手順


■マニュアル・タイプの貼り付け手順例

  貼り付け手順
1 ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2 固定(吸着スイッチON)
3 ウェハーをセット
4 固定(吸着スイッチON)
5 装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定
6 貼付用のローラーを手前に引きながら、テープを貼り付け。ローラーを奥に戻す
7 カッターユニットのカバーを閉じ、円形カット用カッターで周りをカット
8 装置奥にある水平カッターでロールから切り離す
9 カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く
10 フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着スイッチOFF)
11 貼り付け完了

用途


下記を中心に広範な用途に対応しています。


【ダイシング用途】

ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。


【保護(バックグラインド/BG)用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。


【その他】

フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。(DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等)

メリット


ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。

■装置バリエーション

FM-224シリーズ
(マニュアル装置)

シンプル機構の
マニュアルタイプ

FM-3343
(セミオート装置)

小型テーブル
トップタイプ

FM-664シリーズ
(セミオート装置)

プリカットテープ・
ノーマルテープ兼用タイプ

FM-903S
(セミオート装置)

ノーマルテープ専用
8インチタイプ

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