洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン

よくあるご質問

お客様からよくお寄せいただく質問とその回答を掲載しております。こちらにない場合は、 別途『お問合せフォーム』よりご連絡ください。

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q_mark

日本国外で装置を購入したいのですが可能でしょうか?

a_mark

原則として可能ですが、対応できない国や地域がございますので、先ずはご相談ください。

q_mark

製品のカスタマイズ対応は可能ですか?

a_mark

対応は可能です。ごくまれに特殊なケースで対応できない場合もございます。

q_mark

装置のデモを見ることは可能でしょうか?

a_mark

デモ機がございますので、遠慮なくお申し付け下さい。装置によっては、無料でのお貸出しも可能です。

q_mark

デモ機の貸出しは可能でしょうか?

a_mark

小型の装置であれば無料で貸出し可能です。ただし台数に限りがあるため、ご希望に添えない場合もございます。まずはご相談ください。

q_mark

価格について知りたいのですが?

a_mark

価格については別途ご案内していますのでお問合せ下さい。

q_mark

購入方法について知りたいのですが?

a_mark

担当営業からご案内致しますので、お問合せ下さい。

q_mark

商社経由で購入することは可能でしょうか?

a_mark

はい可能です。詳細につきましてはお気軽にお問合せ下さい。

q_mark

消耗品のみを購入することは可能でしょうか?

a_mark

可能です。

q_mark

購入後の操作トレーニングは行ってもらえますか?

a_mark

通常はトレーニング込みでのお見積りを致します。不要な場合は、別途ご相談下さい。

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購入した機器の修理はどうすれば良いですか?

a_mark

修理対応を承っております。方法は内容によりますので、まずはご相談下さい。

 

フォトマスク洗浄装置


q_mark

洗浄時間はどれくらいでしょうか?

a_mark

汚れの度合いによって異なりますが、5~10分程度が一般的です。

q_mark

薬液は何を使っていますか?

a_mark

非危険物のアルカリ系、または中性薬液をご用意しております。

q_mark

マスクに付着したレジストは落ちますか?

a_mark

はい、良く落ちます。ポジタイプ、ネガタイプのほか今まで洗浄した中で落ちないものは有りません。In(インジュウム)汚染も洗浄出来ることが確認されました。

q_mark

マスクサイズが複数ありますが、対応可能ですか?

a_mark

マスクサイズ毎に専用ホルダーを用意することにより対応可能です。

 

UVオゾン洗浄装置


q_mark

装置内に空気を導入した場合、オゾンを発生させ洗浄することは可能でしょうか?

a_mark

弊社の装置には空気(または酸素)を注入する機構はありません。

 

ウェハーマウンター


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ウェハーマウンターとは何ですか?

a_mark

「ウェハー」「ダイシングフレーム」「各種フィルム」を気泡なしで瞬時に貼り付けるフィルム貼り付け装置です。

q_mark

最大の耐熱温度はどのくらいですか?

a_mark

標準では60℃までです。それ以上の場合には、ご要望に合わせてご用意致します。

q_mark

ウェハサイズが複数あります。対応可能ですか?

a_mark

対応可能です。ご要望にあった仕様をご提案いたしますので、まずはご相談下さい。

q_mark

フレームサイズが複数あります。対応可能ですか?

a_mark

対応可能です。ご要望にあった仕様をご提案いたしますので、まずはご相談下さい。

q_mark

独自のダイシングフレームを使用しています。対応可能ですか?

a_mark

対応可能です。使用フレームに合わせて設計致します。

 

ウェハーエキスパンダー


q_mark

ウェハーエキスパンダーとは何ですか?

a_mark

ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置です。

q_mark

独自の保持リングを使用しています。対応可能ですか?

a_mark

対応可能です。使用リングに合わせて設計致します。

 

UVフィルム硬化装置


q_mark

UVフィルム硬化装置とは何ですか?

a_mark

ウェーハ加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用されるUV/紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後UVを照射する装置です。UVを照射することにより強い接着力を有していたフィルムからチップやウェーハを簡単に剥離することが出来ます。

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Hg UVランプのみの購入は可能でしょうか?

a_mark

スペアランプとしてであればもちろん可能です。ランプ単体でのご提供は、申し訳ございませんがお断りしております。

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3種類の光源があるのはなぜですか?

a_mark

それぞれに特長があります。お客様のご要望に合わせた装置をご提案させて頂きます。

 

グリップリング


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購入単位はいくつからですか?

a_mark

50個単位になります。50個以下の場合はご相談下さい。

q_mark

標準サイズ以外の対応もしてもらえますか?

a_mark

費用面も含めてお打合せが必要です。まずはご相談下さい。

製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。

株式会社テクノビジョン
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