洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン

エキスパンダー EX-300

  • エキスパンダー EX-300

ウェハーエキスパンダーとは、ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置です。


ウェハーダイシング後のストリート幅は非常に狭く、チップどうしが干渉してカケ、チッピング発生の原因となるため、ウェハーの取り扱いには細心の注意が要求されます。


EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。


テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、12インチ対応のモーター駆動型エキスパンダー、オートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能となっています。


拡張後は、グリップリング(インナーリングとアウターリングの自動挟み込み)によりテープの拡張状態を保持します。

概要


モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。


本装置は、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」となります。8インチまでの対応もご提供可能です。

仕様


モデル ウェハーサイズ 装置寸法(mm)
EX-300 12インチまで 750(W)×760(D)×615(H)

特長


0.1mmステップによる拡張ストローク設定
・拡張スピードの設定可
・拡張動作(スピード)のレシピ機能
・マイコン制御、タッチパネル操作
・プリヒート機能

特長
1 拡張率を任意に設定可能。
2 拡張スピードを任意に設定可能。
3 高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
4 グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
拡張前→拡張後

■カスタマイズ

安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様...等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。

製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。

株式会社テクノビジョン
〒350-0165 
埼玉県比企郡川島町中山2078
TEL:049-299-1385 
FAX:049-299-1386
電話番号:049-299-1385
24時間365日受付

製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

簡易洗浄ユニット

  ケミカルユニット

  スクラブユニット

  ドライユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

動画集
無償貸出のご案内
用語集
テクノビジョンについて
『株式会社テクノビジョン』は、半導体等のハイテクノロジー産業で、製造プロセスの歩留り向上、品質向上、および自動化/省力化に貢献している日本の半導体製造装置メーカーです。