洗浄装置とダイシング周辺装置のことならテクノビジョン

簡易洗浄ユニット ドライユニット

  • 簡易洗浄ユニット ドライユニット

簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。


お客様のご使用環境、ご検討内容から必要なユニットをチョイスしマスク洗浄を行えます。


各ユニットは
ケミカルユニット
スクラブユニット
ドライユニット
があります。

仕様


寸法 400(W)×670(D)×1180(H)

 

特長


特長
1 7インチまでのマスク洗浄に使用できます。
2 研究開発用途や少量のマスク洗浄に最適。
3 既存の装置と併用し、必要なユニットを選択。
4 設備投資で予算が厳しい場合にもおすすめ。

■概要

洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。

 

・温水槽に純水を入れ電源を接続し電源スイッチをONにします。
(ポンプ駆動により純水は循環され同時に加熱されます)※1
・設定温度に達したらハンドを取付、操作部スイッチにて操作を行います。※2


※1 加熱は、最大70度まで可変可能です。

※2 引上げ速度:1mm/sec


■洗浄

①洗浄するマスクをハンドにセットした物をスクラブ洗浄槽に入れます。
②洗浄ブラシを中心にハンドを上下に移動させ両面スクラブ洗浄を行います。
③一次・二次リンス槽に移動し薬液を落とします。

製品に関するお問い合わせや、カタログご請求などお気軽にご連絡下さい。

株式会社テクノビジョン
〒350-0165 
埼玉県比企郡川島町中山2078
TEL:049-299-1385 
FAX:049-299-1386
電話番号:049-299-1385
24時間365日受付

製品情報

洗浄装置

カセット洗浄装置

  TCC-803

フォトマスク洗浄装置

  TWE-200

  TW-300

  TW-700

  TW-1000

  TWC-302

全自動マスク洗浄装置

  TWC-200A

  TWC-304A

簡易洗浄ユニット

  ケミカルユニット

  スクラブユニット

  ドライユニット

薬液

スーパークリーンヒーター

超純水用加熱ヒーター

  QHシリーズ

クリーン加熱ヒーター

  SHシリーズ

簡易タイプ温度コントローラー

  TC-2030

紫外線オゾン洗浄装置

マウンター

マニュアルマウンター

  FM-224シリーズ

セミオートマウンター

  FM-3343

  FM-903S

  FM-664シリーズ

エキスパンダー

グリップリング

UVフィルム硬化装置

LED仕様

  UVC-200/300

  UVC-200A/300A

高圧水銀ランプ仕様

  UVC-408

  UVC-512

動画集
無償貸出のご案内
用語集
テクノビジョンについて
『株式会社テクノビジョン』は、半導体等のハイテクノロジー産業で、製造プロセスの歩留り向上、品質向上、および自動化/省力化に貢献している日本の半導体製造装置メーカーです。