| 寸法 | 420（W）×430（D）×275（H） |
|---|
| 特長 | |
|---|---|
| 1 | 7インチまでのマスク洗浄に使用できます。 |
| 2 | 研究開発用途や少量のマスク洗浄に最適。 |
| 3 | 既存の装置と併用し、必要なユニットを選択｡ |
| 4 | 設備投資で予算が厳しい場合にもおすすめ｡ |
■概要
マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。
■準備
・薬液浸漬槽に推奨薬液を入れます。※
・リンス槽に純水を入れます。
※二次リンス槽は、オーバーフローを行いファイナルリンスとなります。
■洗浄
①洗浄するマスクをハンドにセットした物を薬液浸漬槽に入れます。
②任意の時間、槽に浸漬させレジストを溶解・剥離します。
③リンス槽に移動し薬液を落とします。
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