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新着情報

2013年3月

【記事掲載 UV硬化装置:Electronic Journal別冊
 『2013 最先端ウェーハ&製造技術大全』】

 

テクノビジョンでは、2013年3月25日に電子ジャーナル社から発刊されますElectronic Journal別冊
2013 最先端ウェーハ&製造技術大全』に製品紹介の記事を掲載しております。


その一部、「UV硬化装置」をご紹介です。


ダイシング工程において使用されるテープは、主にブルーフィルムと呼ばれるのり付きの感圧テープ以外にも、UV硬化タイプのテープ等があります。


UV硬化タイプのテープは、小さいチップにも対応できる強い接着力を持っています。ダイシング後には、UV(紫外線)を照射することでその接着力を弱め、チップがテープから容易にはがれるようにして、チップハンドリング工程に移行します。


そのUVを照射する装置がUV硬化装置と呼ばれています。

UV硬化装置
[写真:LED UV硬化装置:UVC-300]


雑誌内の記事では、LED UV硬化装置、LED光源の特徴と優位性、光源寿命等 LED光源のUV硬化装置を中心にご紹介をしています。(なお、LED光源のUV硬化装置の他にも、従来から利用されています高圧水銀灯を光源としたUV硬化装置や、低価格なブラックライトを光源とするUV硬化装置も提供しています。)


電子ジャーナル社 Web サイト: http://www.electronicjournal.co.jp/

2013年1月

【「SEMICON China 2013」(3/19-21:上海)に参加します】

テクノビジョンは、2013年3月19日(火)~21日(木)、中国の上海で開催されます「SEMICON China 2013」に参加します。


本展示会では、LED光源を採用した UVテープ硬化(照射)装置を中心に展示致します。


マニュアルタイプの「UVC-200/300」は、テーブルトップ・サイズのコンパクトな設計となっています。


全自動タイプの「UVC-300A」は、昨年9月に台湾の展示会でデモ・出展を行い、非常に
反響の大きかった注目の装置です。


公式サイト:セミコンチャイナ2013

2012年12月

【12インチ対応ウェハー拡張装置(エキスパンダー) プロトタイプ機が完成しました。】

12インチ(300mm)ウェハーへのニーズにお応えすべく開発を進めています
12インチ(300mm)に対応したウェハー拡張装置(エキスパンダー)「EX-300」の
プロトタイプ機が完成しました。


ウェハー拡張装置は、半導体製造の後工程であるダイシングにより分割された
ウェハーを X-Y 方向に均一に拡張し、チップ間隔を広げることで、ダイシング後の
チップハンドリングを容易にするための装置です。

12インチグリップリング

[写真:12インチグリップリング(サンプル)]


現在、EX-300と併せて開発中の12インチ(300mm)対応グリップリングと併せて
性能評価中です。


「12インチ対応ウェハー拡張装置 EX-300」、
及び「12インチ(300mm)対応グリップリング」の詳細についてのお問い合わせは
随時受け付けておりますので、お気軽に下記営業部までご連絡ください。


・お問合せ先:
 株式会社テクノビジョン 営業部
 TEL:049-299-1385
e-mail: technovision.info@techvision.co.jp

2012年12月

【年末年始営業日のお知らせ】

 平素は、弊社ならびに弊社製品に格別のご高配を賜り、厚く御礼申し上げます。

 さて、弊社の年末年始の営業に関しまして、下記の通りご案内させていただきます。


・年内最終営業日 2012年12月28日(金) 午前8時30分 ~ 午後5時30分

・年始営業開始日 2013年01年07日(月) 午前8時30分 ~ 午後5時30分

年末年始休暇期間:2012年12月29日(土)~2013年1月6日(日)

休暇期間中は、ご不便をお掛けいたしますが、何卒ご了承の程お願い申し上げます。

2012年11月

【ホームページ:メンテナンスのお知らせ】

日頃はテクノビジョン ホームページをご利用いただき、誠にありがとうございます。


テクノビジョンのホームページは、下記の日時にホームページのメンテナンスを
行うこととなりました。その間、ホームページに数分程度アクセスできないことが予測されます。


皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、何卒ご了承くださいますよう、お願い申し上げます。


【メンテナンス日時】11月15日(木)20:00(午後8時)~11月16日(金)2:00(午前2時)

2012年10月

【「China SSL 2012」(11/5-7:広州 in 中国) に参加します。】

 

テクノビジョンは、2012年11月5日(月)~7日(水)、中国の広州で開催されます「China SSL 2012」に参加します。


「Chinal SSL 2012」では、『Quality up in photolithography process through Photo mask Cleaning』と題し、11月7日(水)に技術発表を行います。

発表概要 要約:英文(60KB)  abstract

公式サイト:「China SSL 2012

2012年9月

【「LED光源 UVフィルム硬化装置」の新パンフレット配布開始】

光源に LED を採用した UV硬化装置のパンフレットが完成し配布を開始しました。


”低消費電力”、”長寿命”、”低ランニングコスト”といったLEDの使用メリットを活かした
UV硬化装置をわかりやすくご紹介。


LED UV硬化装置


ご希望の方は、フォームよりお申し込みください。

お申込みフォーム >> こちら

2012年8月

【日本経済新聞(2012年8月9日)にUV照射装置の記事が掲載されました】

2012年8月9日の日本経済新聞に、半導体製造の後工程で使用しますUV(紫外線)照射装置、UV硬化装置の記事が掲載されました。


光源にLEDを採用することで、運用コストの削減使用電力の低減長寿命化の実現に言及しています。

2012年8月

【お客様各位 ~夏季休業のお知らせ~】

 
弊社では誠に勝手ながら、下記の日程にてお休みさせていただきます。
皆様にはご迷惑をおかけいたしますが、何卒宜しくお願いいたします。


        2012年8月11日(土) ~ 8月19日(日)


この間に届きました電子メールやFAXにつきましても、8月20日(月)以降、
順次対応させていただきます。ご了承ください。

2012年7月

【セミコン台湾 2012: LED光源全自動UV硬化装置 UVC-300A海外初出展決定】

 
省電力・長寿命を実現した次世代技術のLED光源によるUV硬化装置の全自動タイプモデルが、
弊社代理店様のご協力により、いよいよ海外展示会での初出展が決定しました!


国内での実績と反響にお応えする為にも、海外に向けた発信をしなければならないという意味で、
セミコン台湾2012”(2012年9月5日~7日 URL:http://www.semicontaiwan.org/en/)にて
出展いたします。


セミコン台湾2012の出展に関する詳細は、展示会情報にて。

2012年6月

【Hot 純水乾燥装置のデモ準備が整いました】

洗浄は問題ないが乾燥で困っておられる方は意外と多いのではないでしょうか?


例えば:
・ スピン乾燥   ~ ミストの問題やワークサイズ変更が・・・
・ IPAベーパー  ~ 防爆対策、装置価格が・・・
・ 真空乾燥    ~ メンテ性が・・・
・ 熱風乾燥    ~ パーティクルが・・・
・ エアーナイフ  ~ エアー量と調整が・・・

Hot 純水乾燥装置は:

* ミスト汚染や乾燥ジミがありません。
* 小さいワークから大判ワークまで対応。
* 引火の危険性がありません。
* ゴミの再付着がありません。
* メンテナンスが容易。
* 大判ワーク対応が容易。
* 併せて温水によるリンス効果が大。
* カスタム仕様の装置設計が対応しやすい。
* 枚葉乾燥、バッチ乾燥対応が出来る。
* 市水で問題ないワークであれば水道水で装置化可能。
* 装置価格が比較的安価。

デモご希望の方はお気軽にご用命ください。
洗浄装置に組み込まれた実機でテスト評価をして頂いております。
ワークサイズは178×178まで対応。

※技術資料はこちら >> 技術資料(pdf:135KB)Hot純水乾燥



HotDIWdry

2012年6月

【全自動 LED UV硬化装置『UVC-300A』ご紹介動画公開】

UV照射の光源にLED(Light Emitting Diode)を採用したLED UVフィルム硬化装置の自動機(カセットtoカセット)『UVC-300A』のご紹介動画を Web 上で公開しました。


従来からの水銀ランプではなく、LED光源を採用したUV硬化装置の全自動モデルとなります。


電源を投入し素早く起動。ワークを装填したカセットをローディングエリアに置き、スイッチを押すだけで、装置が稼働し、UV照射を行っていきます。


これら一連の動作を動画によりご紹介していますので、是非一度ご覧いただければと思います。


『UVC-300A』の動画はこちらよりアクセス下さい >> UV硬化装置

2012年5月

【14インチ対応全自動マスク洗浄装置「TWC-300A*」近日発売】

テクノビジョンでは、最大14インチのマスクサイズに対応する全自動マスク洗浄装置TWC-300A」を近日発売致します。


すでに、最大7インチのマスクサイズに対応したモデル「TWC-200A」を開発・販売し、多数のユーザ様に提供しておりますが、他のお客様からも9インチ以上のマスクへの対応について、お問合せやご要望をいただいておりました。


この度、社内の準備体制が整いましたので、14インチまで対応可能な全自動マスク洗浄装置を提供することとなりました。


*TWC-300A は、「TWC-304A」に名称を変更しました。(2013年1月)


■特長
1:危険で有害な熱硫酸、硫酸過水や有機溶剤は一切使いません
2:薬液メーカーとタッグを組んで開発した地球環境にマイルドな水溶性アルカリ薬液を使用
3:新薬液は、今まであきらめられていたレジストの昇華物まで除去
4:ハード(装置)とソフト(洗浄ノウハウとレシピ)を提供
5:パターンの一部と認識される厄介なゴミはソフトスクラブ洗浄で完全除去


フォトマスク洗浄は、装置ビジネスにおいてニッチな部分ではありますが、”マスク洗浄といえばテクノビジョン”を合言葉に、これからも業界一、世界一を目指してまいります。


ニュースリリースPDF (175KB)  TWC-300A



TWC-300A


■掲載メディア

・日刊工業新聞サイト:http://www.nikkan.co.jp/newrls/rls20120521o-07.html

2012年4月

【Green Lighting Shanghai 2012 (上海 in 中国)】

テクノビジョンでは、4/25~4/27の期間、中国の上海にて開催される『Green Lighting Shanghai 2012』 Japan-room のブースにおいて、「Photomask洗浄」に関する技術資料を出展・提供致します。
※下記、英文資料(pdf)です。


『Green Lighting Shanghai 2012』は、世界において成長著しい中国の照明業界市場における、
最も先進的な環境に優しい製造装置や材料、応用分野の紹介を中心とした、先進的かつ
国際的なイベントのひとつです。

詳細につきましては、オフィシャルサイトをご参照下さい。












abstract


presentation
要約(87KB)  abstract
テクニカルペーパー(672KB)  technical paper
プレゼン資料(758KB)  presentation



・オフィシャルサイト: 「Green Lighting Shanghai 2012


2012年4月

【ゴールデンウィーク期間中の営業についてのお知らせ】

平素はテクノビジョンをご愛顧いただき誠にありがとうございます。
テクノビジョンのゴールデンウィーク休業および営業日についてお知らせします。


■ゴールデンウィーク休業期間
  2012年4月28日(土)から2012年5月6日(日)まで


皆様にはご不便をおかけしますが、ご理解賜りますよう
何卒よろしくお願い申し上げます。

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