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2013年6月

【“フォトマスクの清浄化で品質と歩留りを劇的に改善“
 ~14インチ対応簡易型マスク洗浄装置『TWC-302』近日発売~】

テクノビジョンでは、最大14インチのマスクサイズに対応する簡易型マスク洗浄装置「TWC-302」を近日発売致します。


「TWC-302」は、2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄とリンスを行い、マスクに付着するパーティクルを除去し、2槽目ではホット純水乾燥により、優れた乾燥品質をシンプルな仕組みで実現する装置となります。


また、1層目のスクラブ洗浄において、薬液による洗浄もオプションとして提供していますので、レジスト残渣の洗浄も行うことが可能となっています。


TWC-302 簡易型マスク洗浄装置
[写真:TWC-302]

※デモンストレーション可能


※なお、7インチ対応の簡易型マスク洗浄装置「TWC-202」も現在開発中です。


詳細についてのお問い合わせは随時受け付けておりますので、お気軽に下記営業部までご連絡ください。


・お問合せ先:
 株式会社テクノビジョン 営業部
 TEL:049-299-1385
 e-mail: technovision.info@techvision.co.jp

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