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2011年9月
【全自動フォトマスク洗浄装置の受注が活発になってきました】
台湾、中国、日本でLEDの生産が活発になってまいりました。
それに伴いフォトマスク洗浄装置の受注が大手メーカーより相次いでいます。
テクノビジョンでは従来から培ってきたスクラブ洗浄術に加え、
新たに薬液洗浄技術の開発に取り組んでまいりました。
スクラブ洗浄は主にパーティクルの除去をメインとします。
薬液洗浄はマスクに付着したレジストを除去します。
LED生産においては素子パターンのデザインルールL/Sが、サブミクロン領域には
至っていないため、露光プロセスにはプロキシミティーまたはコンタクトアライナーが使用されます。
このため、マスク汚染に対してはレジスト除去とパーティクル除去機能をもった
洗浄装置が必要となります。
某大手LEDメーカーでは1月のマスク洗浄が5000枚以上にも達しています。
このような大量のマスクの洗浄に携わる作業人員も相当数となりますが、
洗浄作業はアセトンや硫酸過水等、人体に有害かつ危険な薬液がなどが
使われる為、作業者に対する保護対策も大変気を使う必要が生じます。
テクノビジョンの全自動マスク洗浄装置はこのような量産工場で対応できる
安全かつ環境にやさしい唯一のコンパクト、スモールフットプリント洗浄装置です。
フォトマスク洗浄は装置ビジネスにおいてはニッチな分野ではありますが
"マスク洗浄といえばテクノビジョン" を合言葉にこれからも業界一、世界一を
目指して参ります。