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先に開発いたしましたＬＥＤ光源ＵＶ硬化装置が実用機として市場で認められてまいりました。
照明用としてＬＥＤは、すでに多く世に出て実用化されていますが、
紫外線領域の波長をもったＵＶ照射装置を受注するのは半導体業界では当社が最初だと思われます。
ダイシング工程、ＢＧ工程において、ＵＶ硬化プロセスはタクトタイムが重要なファクターになります。
高圧水銀灯やメタハラ光源装置と比べて、ＥＣＯは言うまでもなく常温プロセス処理ができるなど
多くのメリットを兼ね備えた装置を是非ご検討ください。
評価用デモ機を調えていますので是非お試しください。
ご連絡をお待ちしております。