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アルカリ薬液は、石英ガラス他マスク材料ガラスに微小反応することは周知の事実です。
当社はマスク専用の洗浄薬液を２種類用意しておりますが、
各々についての影響度合いを徹底的に調べました。
分光光度計を用いて露光に必要な有効波長の減衰度合いを把握し、
実用上の問題の有無を基礎データーとして確立いたしました。
このような問題、疑問について何時でもお客様のご相談を承ります。
ご遠慮なくお申し付けください。