【マスク洗浄の要素技術が確立いたしました~その1】
コンタクト露光、プロキシミティ露光に使用するフォトマスクの洗浄で 当社の薬液が、マスクに与える影響(クロムパターン、石英、ソーダライムガラス) がないことが立証されました。 ポジタイプレジスト、ネガタイプレジスト、レジスト付着状況、使用履歴、L/Sサイズ さらには洗浄レシピーも含めた相談なども承っております。