製品紹介:UV硬化装置 − 株式会社テクノビジョン
FMヘッダ
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UV硬化装置

UV硬化装置は、ウェハー加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用される UV/紫外線硬化タイプのテープに、加工後、波長365nmの紫外線(UV)を照射する装置です。

UVを照射することにより、強い接着力を有していたテープからチップやウェハーを簡単に剥がすことができるようになります。

FM装置
メリット
1.常温照射
常温でUV照射できるため、ワークへのダメージ軽減
2.長寿命
LEDの寿命は水銀灯に比べはるかに長く、光源の交換の手間も大幅削減
3.瞬時起動
スイッチを入れて瞬時に立ち上がるため、すぐ作業が開始できます
4.低消費電力
LEDは水銀灯に比べ消費電力を低く抑えることが可能
5.エコロジー
オゾン発生無し、有害物質を含まず環境にやさしい、CO2削減にも貢献
UVCの特長・機能
1.高性能照射
従来装置をしのぐ硬化性能 ⇒ 例) 300mW/cm2 at 10mm work distance
2.高出力ドライバ
独自のLEDドライバ開発により、高出力を実現
3.小流量N2置換
独自の高効率、小流量N2置換機能によりランニングコスト低減
4.小型・軽量
装置サイズは小さく、テーブルトップタイプ
5.短時間
300mW/cm2の照度で8インチウェハーにおいて、約12秒で硬化確認(*1)
*1:有効照射エリア:DTF2-8-1の場合 275mm
UV硬化装置機能
1.照射スピードの設定
2.照射動作の選択
3.設定条件の登録(レシピ設定)
4.N2置換・排気時間の設定
5.インターロック機構
6.シンプルな操作設定.....等
FM装置
製品群
LED光源 CtoC全自動機 従来型高圧水銀灯モデル 低価格ブラックライトモデル

マニュアルタイプのUV硬化装置の他に、全自動タイプのLED光源UV硬化装置も提供

従来タイプの高圧水銀灯モデルは、ワークを回転させながら照射させることで、均一なUV照射が可能

光源にブラックライトを使用したモデルは、少量生産やR&Dに適した低価格モデル

全自動UV硬化装置 高圧水銀灯UV硬化装置 ブラックライトUV硬化装置
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