テクノビジョンTOP > 製品情報 > UVフィルム硬化装置/UV照射装置
200mm/8”対応装置と300mm/12”対応装置がございます。 ワークを回転させながら照射させるため、ウェーハー全領域に均一な照射を行なう事が出来ます。
更に、弊社独自の高効率、小流量N2パージ機能が搭載されています。 N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られます。
これらの特長は、低消費電力化、微量なガス消費など、装置のランニングコストの低減に大きく貢献するばかりでなく、装置コストの削減、高価なクリーンルームの設置スペースの
減少 など、総合的な製造プロセスの効率化が図れます。
（上記2件特許申請済）
200mm/8”対応
モデル UVC-408
サイズ: 400(W)×665(D)×435(H)
300mm/12”対応
モデル UVＣ-512
サイズ: 650(W)×800(D)×980(H)
本装置はブラックライトを硬化用光源にした少量生産やＲ＆Ｄ用途に適した２００ｍｍ／８インチウェーハー対応の廉価版モデルです。
光源が高密度でレイアウトされている為、バラツキのない均一な硬化が得られます。
装置は照射タイマー、酸素の弊害から硬化性能を損なわないようＮ2パージ機能、安全装置などを搭載した高圧水銀モデル並の機能を備えています。
従来装置（高圧水銀灯やメタルハライド光源）と比較して照度不足と思われがちですが、硬化性能（硬化状態、硬化スピード）に差異はありません。
また、装置価格も従来装置と同レベルまで価格低減を図りました。
その他、本装置は下側照射や上側照射をはじめ、カスタム仕様の対応、装置組み込み用途などのモジュール化にも対応いたします。
■年間ランニングコスト比較
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*1) 運転時間 ：8H×２シフト → 16H/day × 365日
*2) 電気料金 ：東京電力従量電灯C参照
*3) 地球環境 ：環境省報道および林野庁HP参照
■特長
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