テクノビジョンTOP > 製品情報 > 新型マスク洗浄装置 TWC-300
- 10,000,000円前後のマスク代を毎月削減※
- マスクに付着したレジストを簡単に除去
- マスクに付着したパーティクルを簡単に除去
- マスクは消耗品から永久使用へ
- 洗浄液は環境にやさしいマイルドな水溶性薬液を開発
- 熱硫酸や硫酸過水などの危険から解放
- 高価なリムーバーや現像液なども不要
- 設置場所を取らない縦型コンパクト設計
※例は１製品で5～6種類のマスク、１日で100回露光毎にマスクを新品に
交換。マスク代を50,000～80,000円で計算
