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テープマウンター
テープマウンター概要

テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。

テクノビジョンのテープマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。

テープマウンター
用途

下記を中心に広範な用途に対応しています。


【ダイシング用途】

ウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシング用テープを貼り付けます。


【DAF(ダイアタッチフィルム)用途】

ダイシング後、ピックアップされたチップ(ダイ)をダイボンディングする場合に、基板に固定するための接着用テープ(DAF)を事前に貼り付けます。(DAF・ダイシング一体型テープにも対応)


【保護(バックグラインド/BG)用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。



■対応テープ(フィルム)

ロール状のカットされていないノーマルテープおよびプリカットテープ両方に対応した兼用装置、
ノーマルテープ専用、プリカットテープ専用の装置を提供しています。



■ウェハーサイズ

12インチ(300mm)、8インチ(200mm)、6インチ(150mm)等、対応するウェハーサイズにより
モデルが異なります。(詳細は下記マトリックスをご参照下さい)

メリット

テープマウンターを導入するメリットの、『安定した貼り付け作業』『高品質の製造工程』『チップ飛びの防止』等により、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。

装置バリエーション

装置は下記4シリーズから構成され、用途・機能、およびワークサイズ別に型式選定が可能です。


FM-224シリーズ (マニュアル装置)
 
FM-334シリーズ (セミオート装置)
: 小型テーブルトップ・タイプ
FM-664シリーズ (セミオート装置)
: プリカットテープ、ノーマルテープ兼用タイプ
FM-903シリーズ (セミオート装置)
: ノーマルテープ専用8インチ・タイプ
テープマウンターFM-224シリーズ テープマウンターFM-334シリーズ テープマウンターFM-664シリーズ テープマウンターFM-900シリーズ
FM-224シリーズ FM-334シリーズ FM-664シリーズ FM-900シリーズ
機種比較選定ガイド
  装 置 機 能 ウェーハーサイズ 対 応 装 置 モ デ ル
セミオート マニュアル
ダイシング用途 プリカットテープ
ノーマルテープ兼用装置
300mm/12” FM-6643  -
200mm/8” FM-6648
プリカット専用装置 300mm/12” FM-6643  -
200mm/8” FM-6648
ノーマルテープ専用装置 300mm/12” FM-6643 FM-2243
FM-3343
200mm/8” FM-6648 FM-2248
FM-903
150mm/6” 200mm装置で対応 FM-2246
DAF

ダイシング用途
プリカット
DAF・ダイシング一体型
300mm/12” FM-6643-DF  -
200mm/8” FM-6648-DF
ノーマル
DAF・ダイシング一体型
300mm/12” FM-6643-DF
FM-3343DF
200mm/8” FM-6648-DF
FM-3343-DF
FM-903-DF
DAF単体テープ 300mm/12” FM-6643-DF  -
FM-3343DF
200mm/8” FM-6648-DF
FM-3343-DF
FM-903-DF
機能性
テープ
バックグラインド/BG
表面保護
裏面保護
レジストフィルム
CSP等フィルム封止
アンダーフィルフィルム
その他
サイズ任意 機 種 任 意 対 応
パッケージング基板、
ガラス/セラミック、その他
サイズ任意 機 種 任 意 対 応
ツインテープマウンター 200mm/8”  - FM-2248
150mm/6” FM-2246

■装置のカスタマイズ(改造、仕様変更)

 お客様独自仕様に基づくカスタム対応も行っております(>>参考例)。お気軽にご相談ください。

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