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簡易洗浄ユニット
簡易洗浄ユニット

簡易洗浄ユニットは、最大7インチマスクサイズまで対応できる簡易洗浄ユニットです。

お客様のご使用環境、ご検討内容から必要なユニットをチョイスしマスク洗浄を行えます。

簡易洗浄ユニット
簡易洗浄ユニット
簡易洗浄ユニット特長
  
特長
1
7インチまでのマスク洗浄に使用できます
2
研究開発用途や少量のマスク洗浄に最適
3
既存の装置と併用し必要なユニットを選択!
4
設備投資で予算が厳しい場合にもおすすめ
簡易洗浄ユニット

各ユニットは『ケミカルユニット』『スクラブユニット』『ドライユニット』があります。

ケミカルユニット

【概要】マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。

【準備】 ・薬液浸漬槽に推奨薬液を入れます。
      ※加熱を行う場合は、電源を接続し加熱を行います。(常温~50度:可変)
      ・リンス槽に純水を入れます。

【洗浄】 ①洗浄するマスクをハンドにセットした物を薬液浸漬槽に入れます。
      ②任意の時間、槽に浸漬させレジストを溶解・剥離します。
      ③リンス槽に移動し薬液を落とします。

ケミカルユニット
ケミカルユニット
寸法
420(W)×430(D)×275(H)
スクラブユニット

【概要】マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。

【準備】 ・スクラブ洗浄槽に推奨薬液を入れます。
      ・一次リンス槽に純水を入れます。
      ・二次リンス槽に純水と排水を接続します。

      ※二次リンス槽は、オーバーフローを行いファイナルリンスとなります。
【洗浄】 ①洗浄するマスクをハンドにセットした物をスクラブ洗浄槽に入れます。
      ②洗浄ブラシを中心にハンドを上下に移動させ両面スクラブ洗浄を行います。
      ③一次・二次リンス槽に移動し薬液を落とします。

スクラブユニット
スクラブユニット
寸法
490(W)×390(D)×250(H)
ドライユニット

【概要】洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。

      ・温水槽に純水を入れ電源を接続し電源スイッチをONにします。
      (ポンプ駆動により純水は循環され同時に加熱されます)

      ※加熱は、最大70度まで可変可能です。

      ・設定温度に達したらハンドを取付、操作部スイッチにて操作を行います。

      ※引上げ速度:1mm/sec

ドライユニット
ドライユニット
寸法
400(W)×670(D)×1180(H)

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