ウェーハーマウンター／フィルムマウンタ | テクノビジョン(半導体の製造装置)

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装置は次の5機種が基本モデルとなり、用途機能別及び、ワークサイズ別の型式選定が出来る様になっています。

  ・FM-224シリーズ(マニュアル装置)
  ・FM-334シリーズ(セミオート装置)
  ・FM-664シリーズ(セミオート装置)
  ・FM-903シリーズ(セミオート装置)
  ・FX-1000

	装　置　機　能	ウェーハーサイズ	対応装置モデル
			セミオート	マニュアル
ダイシング用途	プリカットテープノーマルテープ	300ｍｍ/12”	ＦＭ-6643
		200ｍｍ/8”	ＦＭ-6648
	プリカット専用装置	300ｍｍ/12”	ＦＭ-6643
		200ｍｍ/8”	ＦＭ-6648
	ノーマルテープ専用装置	300ｍｍ/12”	ＦＭ-6643	ＦＭ-2243
			ＦＸ-300
			ＦＭ-3343
		200ｍｍ/8”	ＦＭ-6648	ＦＭ-2248
			ＦＭ-3348
			ＦＭ-903
		150ｍｍ/6”	200ｍｍ装置で対応	ＦＭ-2246
ＤＡＦ・ダイシング用途	プリカット　ＤＡＦ・ダイシング一体型	300ｍｍ/12”	ＦＭ-6643-ＤＦ
		200ｍｍ/8”	ＦＭ-6648-ＤＦ
	ノーマル　ＤＡＦ・ダイシング一体型	300ｍｍ/12”	ＦＭ-6643-ＤＦ
			ＦＭ-3343ＤＦ
			ＦＸ-300-ＤＦ
		200ｍｍ/8”	ＦＭ-6648-ＤＦ
			ＦＭ-3343-DF
			ＦＭ-903-DF
	ＤＡＦ単体テープ	300ｍｍ/12”	ＦＭ-6643-ＤＦ
			ＦＭ-3343ＤＦ
			ＦＸ-300-ＤＦ
		200ｍｍ/8”	ＦＭ-6648-DF
			ＦＭ-3343-DF
			ＦＭ-903-DF
機能性テ｜プ	バックグラインド/ＢＧ表面保護裏面保護レジストフィルムＣＳＰ等フィルム封止アンダーフィルフィルムその他	サイズ任意	機種任意対応
パッケージング基板、ガラス/セラミック、その他		サイズ任意	機種任意対応
ツインテープマウンター		200ｍｍ/8”		ＦＭ-2248
		150ｍｍ/6”		ＦＭ-2246

ウェハー/フィルム/ダイシングフレームを気泡なしで瞬時に貼付け。