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ウェハーマウンター/テープマウンタ
ウェハーマウンター概要

ウェハーマウンターテープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。

ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。

テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。

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[動画 : マニュアルマウンター]
(※音が出ます。ご注意ください)
用途

下記を中心に広範な用途に対応しています。


【ダイシング用途】

ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。


【DAF(ダイアタッチフィルム)用途】

ダイシング後、ピックアップされたチップ(ダイ)をダイボンディングする場合に、基板に固定するための接着用テープ(DAF)を事前に貼り付けます。(DAF・ダイシング一体型テープにも対応)


【保護(バックグラインド/BG)用途】

ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。



■対応テープ(フィルム)

ロール状のカットされていないノーマルテープおよびプリカットテープ両方に対応した兼用装置、
ノーマルテープ専用、プリカットテープ専用の装置をそれぞれ提供しています。



■ウェハーサイズ

12インチ(300mm)、8インチ(200mm)、6インチ(150mm)等、対応するウェハーサイズにより
モデルが異なります。(詳細は下記「機種選定ガイド」をご参照下さい)

メリット

ウェハーマウンターを導入する主なメリットとして、『安定した貼り付け品質』や『スピーディーな製造作業』、『チップ飛びの防止』等があります。これら特長を十分に発揮することで、高い歩留りによる生産性の向上が期待できます。

装置バリエーション

装置は下記4シリーズから構成され、用途・機能、およびワークサイズ別に型式選定が可能です。


FM-224シリーズ

(マニュアル装置)

FM-334シリーズ

(セミオート装置)

FM-664シリーズ

(セミオート装置)

FM-903シリーズ

(セミオート装置)

ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-224シリーズ ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-334シリーズ ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-664シリーズ ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-900シリーズ

シンプル機構のマニュアルタイプ

小型テーブルトップタイプ

プリカットテープ・ノーマルテープ兼用タイプ

ノーマルテープ専用8インチタイプ

機種比較選定ガイド
用途 装 置 機 能 ウェハーサイズ 対 応 装 置 モ デ ル
セミオート マニュアル
ダイシング用途 プリカットテープ
ノーマルテープ兼用装置
300mm/12” FM-6643  -
200mm/8” FM-6648
プリカット専用装置 300mm/12” FM-6643  -
200mm/8” FM-6648
ノーマルテープ専用装置 300mm/12” FM-6643 FM-2243
FM-3343
200mm/8” FM-6648 FM-2248
FM-903
150mm/6” 200mm装置で対応 FM-2246
DAF

ダイシング用途
プリカット
DAF・ダイシング一体型
300mm/12” FM-6643-DF  -
200mm/8” FM-6648-DF
ノーマル
DAF・ダイシング一体型
300mm/12” FM-6643-DF
FM-3343DF
200mm/8” FM-6648-DF
FM-3343-DF
FM-903-DF
DAF単体テープ 300mm/12” FM-6643-DF  -
FM-3343DF
200mm/8” FM-6648-DF
FM-3343-DF
FM-903-DF
機能性
テープ
バックグラインド/BG
表面保護
裏面保護
レジストフィルム
CSP等フィルム封止
アンダーフィルフィルム
その他
サイズ任意 機 種 任 意 対 応
パッケージング基板、
ガラス/セラミック、その他
サイズ任意 機 種 任 意 対 応
ツインテープマウンター 200mm/8”  - FM-2248
150mm/6” FM-2246

■装置のカスタム対応(改造、仕様変更)

お客様独自仕様に応じた多様なカスタマイズ・特殊対応を行っています(>>参考例)。
是非、お気軽にご相談ください。

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