FOUP洗浄装置 | テクノビジョン

300mm（12インチ）ウェーハー用容器『FOUP』の精密洗浄に特化して開発された洗浄装置です｡
シンプル構造、コンパクト設計を追求し、尚且つ基本となる洗浄・乾燥を弊社独自のKnow-how を駆使し効率良く設計された装置となっています｡

FOUP内部・外部共に５面をカバーするノズル設置ホット純水（40～50℃）で高圧（0.5MPa）スプレー洗浄

全エリアをカバーするエアーナイフの設置２段階乾燥方式の採用で完全乾燥を行う乾燥チャンバー内は８０度までの温度管理

	特長
1	小型タイプでフットプリントを取りません｡
2	ＦＯＵＰ本体とドアーの１セットで同時洗浄を行います。
3	ワークの精密洗浄を考慮した洗浄ノズルの配置と二方向に揺動させる事で均一な洗浄を行います｡
4	至近距離からのジェットスプレーで強力洗浄を行います｡
5	洗浄・乾燥チャンバーの独立により洗浄、乾燥プロセスの効率化。また、各チャンバーが独立した事により連続動作が可能。

300mmウェーハー用容器「FOUP」の精密洗浄に特化して開発された洗浄装置