製品紹介:ウェハーマウンター:株式会社テクノビジョン
FMヘッダ
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wafer Mounter

テープ貼り付け装置(ウェハーマウンター)は、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付ける装置です。

ウェハーダイシング後にチップがバラバラにならないようにするためのダイシング用途、接着用テープ(DAF)を事前に貼り付けるDAF用途、バックグラインド時の表面保護の保護用途等、各種用途に対応。

FM装置
メリット
1.バブルフリー
ウェハーとテープ間には気泡を入れず、ぴったり貼り付け
2.スマートカット
貼り付け後の余分なテープを円周カッター、水平カッターで切り離す
3.容易な作業
優れた操作性により容易に作業が行え、安定した工程が行えます
4.各種用途対応
マニュアル/セミオート、多様なテープ対応等、各種用途に適用可
5.独自仕様対応
お客様の独自仕様に合わせたカスタマイズにも対応可
FMの特長・機能
1.貼り付けローラの自動平衡機構内蔵
2.円周カッター、水平カッター内蔵
3.セパレーター巻き取り機構内蔵
4.静電気対策対応可
5.各種テープ対応
FM特長
テープ貼り付け手順

マニュアル・タイプの貼り付け手順例

1.装置奥のカバーを開け、ロールテープをセット

2.蓋を手前から上奥に開き、ワークをセット
  → ワーク(ウェハー)のオリフラ、ノッチ基準で位置決め
  → ワークは真空吸着により固定される
3.装置手前側にテープを引き出す
  → セパレータが、自動的に巻き取られる
4.貼り付けローラを往復(テープ貼り付け)
5.蓋を閉じ、円周カッターと水平カッターで余分なテープをカット
製品群
FM-224シリーズ FM-334シリーズ FM-664シリーズ FM-900シリーズ
マニュアルタイプのテープ貼り付け装置。シンプル機構、メンテナンスフリー セミオート・タイプのテープ貼り付け装置。小型テーブルトップ セミオート・タイプのテープ貼り付け装置。プリカット/ノーマルテープ兼用タイプ セミオート・タイプのテープ貼り付け装置。ノーマルテープ専用8インチ対応
ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-224シリーズ ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-334シリーズ ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-664シリーズ ウェハーマウンター/フィルムマウンタFM-900シリーズ
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