研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が出来ます。
マニュアルタイプのウェハーマウンターはワークサイズ別に300mm(12インチ)、200mm(8インチ)、150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。
また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。
貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。
特殊な装置としては、1台の装置にテープ/フィルムを2本セットできるツインタイプ装置があります。
一般のり付きテープとUVテープ(紫外線硬化)を同時にセットする等、テープの載せ換え作業の手間がかかりません。
| モデル |
ダイシング用途
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| モデル FM-2243 |
300mm/12"対応装置
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| モデル FM-2248 |
200mm/8" 対応装置
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| モデル FM-2246 |
150mm/6" 対応装置
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| モデル |
バックグラインド/BG用途
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| モデル FM-2243-BG |
300mm/12"対応装置
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| モデル FM-2248-BG |
200mm/8"対応装置
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| モデル FM-2246-BG |
150mm/6"対応装置
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特 長
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| 1 |
瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
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貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
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| 3 |
円周カッター内蔵。
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| 4 |
水平カッター内蔵。
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| 5 |
セパレーター巻き取り機構内蔵。
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| 6 |
オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策
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※各種カスタム対応:多数実績あり
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