FM-224シリーズ

マニュアルタイプ ウェハーマウンター

FM-224シリーズ

研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が出来ます。
マニュアルタイプのウェハーマウンターはワークサイズ別に300mm(12インチ)、200mm(8インチ)、150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。(無料貸出用デモ機もご用意)

※ただいま、8インチ対応「FM-2248」の「バリュープライスキャンペーン」実施中!
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また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。

貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。

特殊な装置としては、1台の装置にテープ/フィルムを2本セットできるツインタイプ装置があります。
一般のり付きテープとUVテープ(紫外線硬化)を同時にセットする等、テープの載せ換え作業の手間がかかりません。

貼り付け
テープ貼り付けシーン
作業手順(動画)はこちら (約3分)
モデル
ダイシング用途
装置サイズ:(WxDxH)(mm)
モデル FM-2243
300mm/12"対応装置
510 x 860 x 330
モデル FM-2248
200mm/8" 対応装置
455 x 780 x 300
モデル FM-2246
150mm/6" 対応装置
375 x 760 x 230
モデル
バックグラインド/BG用途
モデル FM-2243-BG
300mm/12"対応装置
モデル FM-2248-BG
200mm/8"対応装置
モデル FM-2246-BG
150mm/6"対応装置
  
特 長・機能
1
瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。
2
貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。
3
円周カッター内蔵。
4
水平カッター内蔵。
5
セパレーター巻き取り機構内蔵。
6
オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策
テープ貼り付け手順

マニュアル・タイプの貼り付け手順例

  
貼り付け手順
1
ダイシングフレームを装置の所定の位置に、オリフラやノッチを基準に位置決めしセット
2
固定(吸着スイッチON)
3
ウェハーをセット
4
固定(吸着スイッチON)
5
装置奥にあらかじめセットしていたテープの端を持ち、手前に引き出し、バーに固定
6
貼付用のローラーを手前に引きながら、テープを貼り付け。ローラーを奥に戻す
7
カッターユニットのカバーを閉じ、円形カット用カッターで周りをカット
8
装置奥にある水平カッターでロールから切り離す
9
カバーを開け、切り離した余分なテープを取り除く
10
フレームおよびウェハーの固定を解除(吸着OFF)
11
貼り付け完了

■各種オプション

静電気除去
ダンパー
ヒーターユニット
静電気除去ユニット 大型リッド用ダンパー ヒーターユニット

※その他多様なカスタム対応:多数実績あり
・製品価格やご購入方法、デモ機無料貸出しについては、お問合せフォームよりご連絡下さい。

問合せ

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