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ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置
ウェハーエキスパンダー概要

モーター駆動式エキスパンダーは、拡張ステージを上昇させる駆動方式に電動モーターを採用した装置です。

近年、ウェハーの種類や厚さ、デバイスの種類、ダイシング方式等、プロセスの多様化にともない、拡張装置に求められる性能がより厳しきなっています。

EXシリーズは、より高精度かつリピータビリティの優れたモーター駆動方式を採用したウェハーエキスパンダーであり、12インチ対応の「EX-300」と、8インチ対応の「EX-200」を提供してます。

フェイスダウンウェハー拡張装置 EX-200
写真:モデル EX-300(12インチ(300mm)対応)
特長

・0.1mmステップによる拡張ストローク設定
・拡張スピードの設定可
・拡張動作(スピード)のレシピ機能
・マイコン制御、タッチパネル操作
・プリヒート機能

■12インチ・グリップリング


EX-300に対応した「グリップリング(GR-12)」で拡張保持されたウェハー

GR-12
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