ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置
ウェハーエキスパンダー概要

通常のウェハーエキスパンダーでは対応が難しい拡張ストローク15mm以下のストロークに対応した低拡張のウェハーエキスパンダーです。

ダイシング後にウェハーを拡張する際、チップが端に寄り過ぎることで様々な問題が発生していますが、拡張幅を小さくすることでこれら問題をクリアできる装置になります。

さらに、近年チップのピックアップ性能が向上し、ダイシングストリート幅(各チップ間の幅)が僅かでも、チップのピックアップが可能になって来ています。そのため、ダイシング後のウェハー拡張幅も少量で十分対応できるようになっています。

0mm ウェハー拡張装置LEX-218
写真:低拡張エキスパンダー LEX-218G

ウェハーの拡張後は、拡張状態を保持するためのグリップリングに自動で嵌合(かんごう)されます。
低拡張ウェハーエキスパンダーは、業界初(*)グリップリングに嵌合させるだけの拡張ストローク 0mm にも対応しております。

拡張ストロークの高さの調整幅は、10mmの範囲内で3段階のプリセットが可能となっており、高さ調整の必要がない機構を備えています。
(*)2013年5月時点、当社調べ

フェイスダウンウェハー拡張装置 MEX-200
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