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ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置
ウェハーエキスパンダー概要

ウェハーエキスパンダーとは、ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく向上させるテープ拡張装置です。

ウェハーダイシング後のストリート幅は非常に狭く、チップどうしが干渉してカケ、チッピング発生の原因となるため、ウェハーの取り扱いには細心の注意が要求されます。

EXシリーズ「ウェハーエキスパンダー」は、フルカットされたウェハーをダイシングテープごと拡張ステージで引き伸ばし、チップ間隔/ストリート幅を適切な幅に均一に広げることのできるテープ拡張装置です。



写真:エキスパンダと拡張されたウェハー

テクノビジョンでは、各種ウェハーエキスパンダーを用意しており、それぞれベーシックモデル、拡張ストローク0mm~15mm対応低拡張エキスパンダー12インチ対応モーター駆動型エキスパンダーオートカット機能付きエキスパンダー等、要件に応じた選択が可能となっています。

拡張後は、グリップリング(インナーリングとアウターリングの自動挟み込み)によりテープの拡張状態を保持します。

特長
  
特長
1
拡張率を任意に設定可能。
2
拡張スピードを任意に設定可能。
3
高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
4
グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
ウェハー拡張”対応

X-Y方向へ均一に拡張されるウェハー


ウェハーエキスパンダー作業手順

ウェハーの拡張作業の手順を、画像、動画それぞれにより説明しています。


作業手順(静止画)はこちら 作業手順(動画)はこちら 作業手順(動画)
作業手順(TEX-21BG) 作業手順(動画:TEX-218)約7分
スタンダード・モデル

・モデル TEX-21Bシリーズ:6インチ(150mm)対応・・・サイズ:340mm(W)x600(D)x350(H)
・モデル TEX-218シリーズ:8インチ(200mm)対応・・・サイズ:400mm(W)x690(D)x350(H)

スタンダード・モデル
低拡張エキスパンダー モーター駆動式エキスパンダー オートカット機能付きエキスパンダー

拡張ストローク:0mm~15mmの低拡張エキスパンダー

モーター駆動による高精度拡張動作(12インチ対応)

ベーシックタイプのエアー駆動にオートカット機能搭載

低拡張エキスパンダー モーター駆動エキスパンダー オートカット機能付きエキスパンダー

■カスタマイズ

安全スイッチ、シグナルタワー設置、ダンパー仕様...等、お客様独自仕様や特別な改造等にも対応。

・製品価格やご購入方法については、お問合せフォームよりご連絡下さい。

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