ダイシング後のウェハーをX-Y方向に均一に拡張
テクノビジョンは半導体(フラットパネル/FPD)製造装置の開発メーカーです。
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ダイシング/分割されたウェーハーをX-Y方向に均一に拡張し、 チップ間隔を任意のギャップに広げます。 ダイシング/分割後のチップハンドリングが著しく向上します。
特長
1
拡張率を任意に設定可能。
2
拡張スピードを任意に設定可能。
3
高拡張率を可能とするホットプレート搭載ステージ。
4
グリップリングで拡張されたフィルムを自動グリップ。
拡張されたウェーハー