カセット洗浄装置(ウェハーカセット、キャリアー、ボックスの自動洗浄装置)

多様化する半導体デバイス、ナノ領域に入ったデザインルール、益々高度化する環境の中で求められる更なる 歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネｰションコントロールが最重要課題として 位置付けられています。
モデルTCC-803カセット洗浄装置は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。

ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、キャリアー、ボックス等の精密洗浄を 目的とした少量多品種生産用途のコンパクトな洗浄装置です。