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FAQ

お客様からよくお寄せいただく質問とその回答を掲載しております。こちらにない場合は、 別途『お問合せフォーム』よりご連絡ください。


よくある質問(FAQ)


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フォトマスク洗浄装置

UVオゾン洗浄装置

ウェハーマウンター

ウェハーエキスパンダー

UVフィルム硬化装置

グリップリング


共通


日本国外で装置を購入したいのですが可能でしょうか?



原則として可能ですが、対応できない国や地域がございますので、
先ずはご相談ください。

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日本国内で購入した装置を海外に輸出可能でしょうか?



原則として可能ですが、対応できない国や地域がございますので、
先ずはご相談ください。

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製品のカスタマイズ対応は可能ですか?



対応は可能です。ごくまれに特殊なケースで対応できない場合もございます。

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装置のデモを見ることは可能でしょうか?



デモ機がございますので、遠慮なくお申し付け下さい。
装置によっては、無料でのお貸出しも可能です。

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デモ機の貸出しは可能でしょうか?



小型の装置であれば無料で貸出し可能です。ただし台数に限りがあるため、
ご希望に添えない場合もございます。まずはご相談ください。

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価格について知りたいのですが?



価格については別途ご案内していますのでお問合せ下さい。

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購入方法について知りたいのですが?



担当営業からご案内致しますので、お問合せ下さい。

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商社経由で購入することは可能でしょうか?



はい可能です。詳細につきましてはお気軽にお問合せ下さい。

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消耗品のみを購入することは可能でしょうか?



可能です。

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購入後の操作トレーニングは行ってもらえますか?



通常はトレーニング込みでのお見積りを致します。
不要な場合は、別途ご相談下さい。

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購入した機器の修理はどうすれば良いですか?



修理対応を承っております。方法は内容によりますので、まずはご相談下さい。

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フォトマスク洗浄装置


洗浄時間はどれくらいでしょうか?



汚れの度合いによって異なりますが、5~10分程度が一般的です。

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薬液は何を使っていますか?



非危険物のアルカリ系、または中性薬液をご用意しております。

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マスクに付着したレジストは落ちますか?



はい、良く落ちます。
ポジタイプ、ネガタイプのほか今まで洗浄した中で落ちないものは有りません。
In(インジュウム)汚染も洗浄出来ることが確認されました。

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マスクサイズが複数ありますが、対応可能ですか?



マスクサイズ毎に専用ホルダーを用意することにより対応可能です。

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UVオゾン洗浄装置


装置内に空気を導入した場合、オゾンを発生させ洗浄することは可能でしょうか?



弊社の装置には空気(または酸素)を注入する機構はありません。

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ウェハーマウンター


ウェハーマウンターとは何ですか?



「ウェハー」「ダイシングフレーム」「各種フィルム」を気泡なしで瞬時に
貼り付けるフィルム貼り付け装置です

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最大の耐熱温度はどのくらいですか?



標準では60℃までです。それ以上の場合には、ご要望に合わせてご用意
致します。

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ウェハサイズが複数あります。対応可能ですか?



対応可能です。ご要望にあった仕様をご提案いたしますので、まずはご相談
下さい。

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フレームサイズが複数あります。対応可能ですか?



対応可能です。ご要望にあった仕様をご提案いたしますので、まずはご相談
下さい。

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独自のダイシングフレームを使用しています。対応可能ですか?



対応可能です。使用フレームに合わせて設計致します。

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ウェハーエキスパンダー


ウェハーエキスパンダーとは何ですか?



ダイシング/分割されたウェハーをX-Y方向に均一に拡張し、チップ間隔を
任意のギャップに広げ、ダイシング/分割後のチップハンドリングを著しく
向上させるテープ拡張装置です。

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独自の保持リングを使用しています。対応可能ですか?



対応可能です。使用リングに合わせて設計致します。

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UVフィルム硬化装置


UVフィルム硬化装置とは何ですか?



ウェーハ加工(ダイシングやバックグラインド)工程において使用される
UV/紫外線硬化タイプのフィルムに、加工後UVを照射する装置です。
UVを照射することにより強い接着力を有していたフィルムからチップや
ウェーハを簡単に剥離することが出来ます。

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Hg UVランプのみの購入は可能でしょうか?



スペアランプとしてであればもちろん可能です。
ランプ単体でのご提供は、申し訳ございませんがお断りしております。

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3種類の光源があるのはなぜですか?



それぞれに特長があります。お客様のご要望に合わせた装置を
ご提案させて頂きます。

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グリップリング


購入単位はいくつからですか?



50個単位になります。50個以下の場合はご相談下さい。

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標準サイズ以外の対応もしてもらえますか?



費用面も含めてお打合せが必要です。まずはご相談下さい。

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