| テクノビジョンブースの見どころ・ハイライト |
| ＵＶ硬化装置 〜水銀灯からLED光源へ〜 |
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ダイシング工程、ＢＧ工程で使われるＵＶ硬化装置の光源が水銀灯から“LED光源”になりました。
C to C全自動装置とマニュアル装置を出展します。
国連の水銀包括規制（水銀の輸出や含有製品の販売を原則禁止する）
条約が2013年制定を目指しています。当社ではそれに先駆けて、
高圧水銀灯の照度を超えるLED光源の開発に取り組んでまいりました。
独自のLED駆動電源と冷却方式の開発により目的を達成いたしました。
出力照度以外にも多くの特長を持った装置を是非実機でご確認ください。
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| 全自動マスク洗浄装置 〜露光工程の経費を劇的に削減〜 |
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| LED市場の驚異的な活性化とFPCをはじめ多くの電子部品のL/Sが
数ミクロンから数十ミクロンまで微細化する領域に入ってきました。
必然的にパターン形成がリソグラフィー技術に移行しアライナーが使わ
れます。その為、マスクに付着したレジストとパーティクルの除去は
製品歩留りを向上させる要となりそうです。
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| ◆部長さん、◆課長さん：〜マスク洗浄？ 問題無いよ！ |
| ◆現場：突っ込んで聞くと“実はマスク洗浄で困っている”と言う声を多く聞きます。 |
| 新製品TWCシリーズ |
1. 危険で有害な熱硫酸、硫酸過水や有機溶剤を一切使いません。
2. 薬液メーカーとタッグを組んで地球環境にマイルドな水溶性アルカリ薬液を開発。
3. 新薬液は諦められていたレジストの昇華物まで除去します。
4. ハード（装置）とソフト（洗浄レシピ）の提供をします。
5. パターンの一部となる厄介なゴミはソフトスクラブ洗浄で完全除去。
6. HOT DIW-DRY機能搭載、乾燥ジミの発生がゼロ。
7. 洗浄デモをお申し付けください。プロセスとレシピを開示してご返却いたします。
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| ウェーハーマウンター 〜ダイシング用途ノーマルテープとプリカットテープ両方に対応可能〜 |
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機能別、ウェーハーサイズ別の多種多様の仕様に対応出来る
装置を出展します。
ノーマルテープとプリカットテープが
使える一台二役の装置も展示いたします。
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| ウェーハーエキスパンダー 〜自動グリップで作業ミスを低減〜 |
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ダイシング後のチップ拡張装置に非常にコンパクトな
テープカット機構が組み込まれました。
併せて、拡張
ジグ又はキャリアーとなるグリップリングには、嵌合
(グリップ)時の方向性が無く
テープの亀裂やオペレータ
の作業ミスなどの心配が有りません。
嵌め合いに方向性が無い
製品は世界中で当社製だけです。
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| UVオゾン洗浄装置 〜高密度グリッド光源搭載によりワーク面に対して均一照射が可能〜 |
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ワーク表面の有機物を大気圧下で除去します。 濡れ性が改善され成膜性、接着性が向上し
製品歩留りの向上につながります。
照射バラツキのない高密度グリッド光源が
搭載されてい
ます。
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| ≪ホットな注目製品≫ Hot DIW乾燥装置 〜当社の純水引き上げ乾燥技術にご注目ください〜 |
半導体、LCD、LED、PV等の製造プロセスで洗浄後の乾燥はIPAドライ、スピンドライ、エアーナイフドライなどが一般的な手段として定着しています。
テクノビジョンでは純水引き上げ乾燥の技術を確立させ既に装置に組み込んでいます。
この方式は非常に安全で確実な乾燥手段で、しかも水シミ、ウォーターマークの発生が有りません。
更に洗浄後の高いリンス効果も期待できる一石二鳥の装置です。水中含有酸素によるゲート電極などに影響しない工程の乾燥であれば理想的な乾燥技術です。
洗浄後の乾燥で問題点や改善を検討されているお客様は是非当社にご相談頂けないでしょうか？
カスタム仕様で対応する用意がございます。
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| 第13回半導体パッケージング技術展 会場ご案内 |
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| 日時 |
2012年1月18日[水]〜1月20日[金] |
| 開場時間 |
10：00〜18：00(20日[金]のみ17：00終了) |
| 会場 |
東京ビックサイト[西展示棟] ブース番号：西５−２ |
| 入場料 |
無料 |
| 会場デモ開催 |
フォトマスク洗浄装置のご紹介 1月20日(金) 15:00〜15:30 |
| 主催者ページ |
http://www.icp-expo.jp/ |
| お問い合わせ先 |
株式会社テクノビジョン TEL：049-299-1385 / FAX：049-299-1386 |
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