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■ウェーハー容器、キャリアー洗浄装置
ＦＯＵＰ洗浄装置 ～FOUP,FOSB,SMIF,カセット対応
カセット洗浄装置 ～小ロット、Ｒ＆Ｄ，ハイエンドデバイス用に特化
■フォトマスク洗浄装置
ラージサイズ対応装置 ～ＰＤＰ，大判マスクに対応
ミドルサイズ対応装置 ～620×720まで対応
スモールサイズ対応装置 ～460×360 又は 300×300まで対応
■ＵＶオゾン洗浄装置
モデル ＵＶ-208 ～照射エリア208×208
モデル ＵＶ-312 ～照射エリア312×312
■スーパークリーンヒーター
超純水加熱用途ＱＨシリーズ（インラインタイプ）
クリーンエアー加熱用途ＳＨシリーズ（インラインタイプ）
■ウェーハーマウンター
ダイシング用途
プリカットテープ/ノーマルテープ共用装置
プリカットテープ専用装置
ノーマルテープ専用装置
ＤＡＦダイシング一体型テープ対応装置
ＤＡＦ（ダイアタッチフィルム）用途
ＤＡＦ単体テープ
ＤＡＦダイシング一体型テープ
機能性テープ貼付け
表面保護テープ/ＢＧテープ
裏面保護テープ
レジストフィルム
その他のフィルム/テープ貼付け
多目的用途貼付け
パッケージ基板、ガラス、セラミック、その他
ツインテープマウンター（１台の装置に２種類のテープをセット）
■ウェーハー拡張装置/エキスパンダー
モデル ＴＥＸ-21Ｂ ～125ｍｍ（５インチ）ウェーハー対応
モデル ＴＥＸ-218 ～150-200ｍｍ（6-8インチ）ウェーハー対応
■ＵＶ硬化装置
高圧水銀灯仕様装置（ハイパワータイプ）
ブラックライト仕様装置
■組立関連補助製品
グリップリング
はめ合せに方向性が無い双方向性グリップリングを４種類用意
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